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《半导体器件物理》课程教学思考 　　摘 要 《半导体器件物理》是微电子科学与工程专业的重要专业基础课，侧重器件的物理概念、图像与电子电路间的逻辑数学联系。为深层次理解半导体器件工作原理，培养适应集成电路产业的半导体器件设计人才，本文对《半导体器件物理》课程教学进行了思考探索 关键词 半导体器件 半导体物理 教学思考 中图分类号：G642 文献标识码：A 文章编号：1002-7661（2017）02-0058-02 随着半导体技术的发展，微电子技术已渗透到渗透到国民经济的各个领域。《半导体器件物理》是微电子技术的理论基础，是理解半导体器件内部工作原理的课程，是分析器件物理结构、材料参数与器件电学性质之间的联系，其提供了半导体物理与电子电路设计间的物理逻辑与数学联系，是基于CMOS工艺设计集成电路的必备知识。因而，在教学过程中，如何将物理图像、数学模型与电子电路设计间的关系讲解清楚，让学生从物理和集成电路设计的角度深层次理解半导体器件成为授课关键 一、教学内容与预期 《半导体器件物理》是微电子科学与工程专业的重要专业基础课程，是在半导体物理课程基础上继续开展器件物理的分析、建模和应用，具有物理理论抽象、概念细节多、半导体物理与电路等学科知识相交叉等特点，学生学习较为困难。基于此，本课程授课以施敏先生著的《半导体器件物理》为主要教材，依据教学大纲和学生未来的工作实践，对《半导体器件物理》课程教学内容进行了调整、充实和删减。具体来说《半导体器件物理》教学内容可分为以下几部分：1）介绍半导体材料、PN结、半导体表面的特性等，2）讲解双极型、MOS型晶体管的结构和工作原理，3）分析几种有重要应用的半导体器件，如功率MOSFET、IGBT和光电器件等。[1，2]期望学生接受教学后的预期能力：1）能够深入理解半导体器件关键物理概念和能带理论；2）能够将半导体物理与半导体PN结的行为结合起来理解分析；3）能够以半导体PN结为基础理解几种不同的半导体器件；4）能够理解和提出新型半导体器件设计中的关键物理和电学问题 二、教学方法及学生能力目标 本课程以课堂授课为主，同时引入小组和班级讨论、课后建模实践等互动教学方法，培养学生构建器件物理图像、建模和与电子电路设计综合联系的能力，独立发现、分析、解决器件问题的能力。同时基于《半导体器件物理》课程的特点，在教学手段上采用板书公式推导与多媒体器件模型演示为主，网络教学资源为辅，同时邀请集成电路产业半导体器件资深专家讲座等形式，提高学生掌握知识和设计实践的能力，提高教学质量。让学生渐进达到如下能力：（1）知道基本概念，（2）从理论上理解和解释，（3）能够根据器件理论做出计算、模拟和实际的器件应用，（4）对器件进行综合、设计、分析；（5）对器件能够从物理和电学的角度做出专业评价 三、学生学习效果评价方式 为了客观评价每个学生的实际学习效果和激励学习兴趣，改革评价方式是十分必要的。在期末闭卷考试基础上，对成绩评价方式作如下新探索：增加平时成绩比例，每个月进行一次小测试，针对几个集成电路广泛应用的建模理论和半导体器件，要求学生从半导体物理的角度作出独立的分析报告，可以在课后查阅文献资料，并在后续课堂上进行交流讨论，增强学生独立思考与实践动手能力，培养学生深度器件分析能力 课堂教学改革需要教师不断思考、总结与创新，即要传授知识，又要与学生互动反馈，让学生更深刻迅速的理解专业知识，并能灵活的实践运用 参考文献： [1]施敏等，耿莉等译.半导体器件物理[M].西安：西安交通大学出版社，2008. [2]Donald Neamen著.赵毅强等译.半导体物理与器件[M].北京：电子工业出版社，2013. [3]杨虹等.面向21世纪的微电子技术人才培养-微电子技术专业本科生教学计划的制订[J]，重庆邮电大学学报，2004. [4]周前能等.《模拟集成电路CAD》课程教学改革探索[J].素质教育论坛，2012，（21）. [基金项目：（1）重庆市高等教育学会高等教育科学研究课题（微电子科学与工程专业实践教学创新研究与实践，编号：CQGJ13C446）；（2）重庆市教育科学“十二五”规划2014年度规划课题/重庆市高等教育教学改革研究重点项目（集成电路工程类创新人才培养体系研究与实践，编号：2014-GX-006）；（3）重庆邮电大学校级教学改革项目（适应行业和区域发展的集成电路工程大类专业创新人才培养模式研究，编号：XJG1505）；（4）重庆邮电大学2015年宜伦学院微电子科学与工程专业实验班项目（编号：2015YL-04）；（5）重庆邮电大学2016年宜伦学院微电子科学与工程专业实验班项目；（6）重庆市本科高校“三特行动计划”特色专业-微电