洁净保持箱洁净处理风速的分析.pdfVIP

26 液压与气动 2011年第6期 洁净保持箱洁净处理风速的分析 倪 卫，熊 迁，谭 宁，曹庭分，贺少勃 Analysisofcleanlinessvelocityforthecleanroom NIWei，XIONGQian，TANNing，CAOTing—fen，HEShao—bo (中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 621900) 摘 要：在建立洁净保持箱结构模型的基础上，分析洁净处理的过程，提出风速是影响洁净保持箱洁净 处理的重要参数之一，着重从控制尘源污染和满足气流均一性两个方面对洁净处理要求风速大小进行了分 析计算，结果表明控制尘源污染要求风速大于等于0．25m／s，满足气流均一性的最佳洁净处理风速约为 0．25m／s，最后结合计算和实验，确定洁净保持箱洁净处理方案在采用FFU产生的自上向下垂直流，最佳洁 净处理风速为0．25m／s。 关键词：洁净保持箱；FFU；尘源污染；CFD 中图分类号：TB126 文献标识码：B 文章编号：1000-4858(2011)06-0026-03 1 引言 略)，顶部的洁净气体由FFU单元提供，其风速和风量 洁净保持箱是应用于某大型激光装置各类在线可 均可根据需要调整。洁净保持箱侧底部开有排气孔， 替换单元进行高效洁净维护的专用工具，是精密装校 可以排出部分污染尘源，但是由于洁净保持箱结构设 系统的重要组成部分…。分析洁净保持箱如何实现 计需要，侧底部排气孔较小，并不能将所有回风从底部 内部的快速洁净，需求一种最优方法洁净处理策略，对 排出，大部分可能被污染的空气是经过洁净保持箱底 在线可替换单元的洁净精密装校具有非常重要的意 部之后，沿其侧面上升，返回至洁净保持箱顶部开孔 义。通常对于有洁净度要求的箱体常采用风机过滤器 排出。 单元(FFU)的净化空调系统提供洁净空气，箱体侧面 如何选取合适的送风风速，以保证尽可能短的时 设计回风 口或者底部有排风，从而实现箱内空气全循 间内有效排除洁净保持箱内部尘源污染气体，减少气 环 J。借鉴该类箱体设计思想和使用环境，在洁净 流漩涡区。经过分析，洁净保持箱洁净处理风速 由如 保持箱的结构设计时未采用直接嵌入 FFU单元的结 下几个因素决定，即：能有效控制尘源污染；要求 自上 构形式，而是借用外部FFu单元提供的自上向下的可 向下的单 向垂直流气流均一性要求；控制正向／逆向污 调风速的单向垂直流方式，来实现洁净保持箱的洁净 染；满足合适的洁净处理时间等，着重对对前两项影响 处理。选用合适的洁净处理风速，能使洁净保持箱在 因素要求的洁净处理风速进行初步研究。 2min内达到 100级 的洁净度要求。 3 控制尘源污染的风速 2 影响洁净处理风速的因素 能有效地排出被污染气体，控制洁净保持箱内部 洁净保持箱结构如图1所示 (内部复杂机构省 尘源是洁净处理首先要达到的设计要求，因此选择合 适送风风速以满足控制尘源污染的需要至关重要 J。 如图2所示是在送风平行气流中的点源，此时洁净保 持箱内部流场应是送风平行气流流场和点源流场的叠 加结果。现采用球坐标，R为 自点源的径向距离，0为