浅析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素.pdfVIP

煎析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素 国玻璃 浅析磁控溅射制备AZO薄膜 技术及影响因素 辛崇飞 何立山 信义玻璃控股有限公司 广东 东莞 523935 摘 要：本文从磁控溅射原理、靶材与镀膜方式的选择等方面阐述了AZO膜的制备方法，探讨了影响AZO薄膜 电学性能的因素及变化规律、AZO薄膜的光学特征及其影响因素，对于AZO薄膜商业化面临的问题给出了作者的看 法 。 关键词：磁控溅射；AZO薄膜；电学性能；光学性能 StudyontechnologyandinfluencingfactorsofAZO film preparedbymagnetronsputteringmethod XiChongfei HeLishan XinyiGlassHoldingsLimited Dongguan Guangdong 523935 Abstract：From theaspectsofmagnetron sputteringprincipleandselectionoftargetmaterial coatingmethods．the AZOfilm preparationmethodisintroducedinthepaper．Theinfluencingfactorsofelectricalpropertiesandopticalchm-ac— teristicsofAZOfilmsarediscussed，andtheauthor’Sideasaboutproblemsincommercializationaregiven intheend． Keywords：magnetronsputtering；AZO film ；electrical property；opticalproperty 的外延生长温度较低，有利于降低设备成本，抑制固 1前言 相外扩散 ，提高薄膜质量，也易于实现掺杂。在ZnO 体系中惨杂Al得到ZnO：A1透明导电薄膜，即AZO 能源对全球经济发展和社会进步起着举足轻重 薄膜，惨杂后薄膜导电性能大幅度提高，电阻率可降 的作用。在石油 、煤炭、天然气等化石能源Et益枯 低到 10。n ·cm[。～1，而且透 明导电薄膜 AZO薄膜 竭、价格骤升的背景下，能源替代、由化石能源向可 在氢等离子体中稳定性要优于 ITO，同时具有可同 再生能源转变将是一个历史趋势。太阳能由于其清 ITO相 比拟的光电特性 ，逐渐成为 1TO薄膜最佳替 洁、易获取的特性 日益受到各 国的青睐，其中的薄膜 代者，AZO薄膜 目前 已经在平板显示器和潍 太阳 电池 由于具有弱光响应好 、成本低 、对于能源的消耗 能电池中得到了部分应用[。 低等优点，更是受到广泛的关注。国内外针对薄膜 电池的研究与报道13新月异，而作为薄膜 电池的电 2AZO薄膜的制备方法 极材料的导电膜产品也 “母随子贵”，受到了极力的 推崇。本文针对导电膜的新宠 “AZO”产品，从磁控溅 2．1磁控溅射制备原理 射技术、膜层的电学性能、光学性能方面极其影响因 素等进行了分析和论述。 不同制备方法对AZO薄膜的表面平整度、结晶 我们知道 ，ZnO是一种 Ⅱ一Ⅵ族具有六角纤锌 取向、导电性能、光学性能等都有不同的影响。目 矿结构的直接带隙宽禁带n型半导体材料，来源丰 前，AZO薄膜的制备技术较多，主要包