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电极问距对zno基msm紫外光电探测器性能的影响
第35卷第10期 发 光 学 报 V01．35No．10
2014年10月 CHINESE OF Oct．．2014
JOURNALLUMINESCENCE
172-04
文章编号：1000—7032(2014)10．1
电极问距对ZnO基MSM紫外光电探测器性能的影响
李超群I’2，陈洪宇1一，张振中卜，刘可为1，申德振1
(1．发光学及应用国家重点实验室巾同科学院长春光学精密机械与物理研究所．吉林长春130033
2中国科学院大学，北京[00049)
摘要：利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。利用A。电极，在ZnO薄膜上制
备电极间距不同的金属一半导体一金属结构紫外光电探测器。发现随着电极间距从150Ixm降至5“m，t泵NN-
响应度呈现m从15mA／W到75
mA／W的明显提高。同时，随着电极间距的减小，器件的，一y曲线线形发生
了显著改变。这被归结为电极间距变化改变了器件耗尽区宽度和电极间电阻造成的结果。
关键词：ZnO；光电探测器；MSM；电极间距；响应度
中图分类号：0484．4 文献标识码：A DOI：10．3788／fgx1172
EffectofElectrodeonThe of
Spacing Properties
z．oBased
MSMUltravioletPhotodetector
L1 Ke—wei De—zhen
1·2，CHEN 1·2，ZHANG 4，LIU 1．SHEN
Chao-qun Hong-yu Zhen．zhon91
1．State Luminescenceand In．stitute
t Ke，Laborator)of of
Applications。Changchunoptics
FineMeanicsand 1
Physics，ChineseAcademyofSciences，Changchun30033，China；
2 Universit)ofChinese 100049，China)
Academ)ofSciences，Beijing
Author．g—mail：“(‘iron@163．(,ore
#Correstmnding
chemical filmswere on
Abstract：Byusingmental·organicvapordeposition，ZnOprepared
sapphire
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