扫面电镜第三、四章(中科大).pptVIP

BSE电子图像 BSE电子图像 二次电子图像 背散射电子象中成分象和形貌象的分离 COMPO象-成分象 TOP象-形貌象 2.形貌反差 背散射电子和二次电子的产生与电子束和样品之间的入 射角有关，入射角因样品表面的形貌起伏而变化，这就形成 了样品的形貌反差。在普通的扫描电子显微技术中形貌反差 是最重要的反差。 对形貌反差有贡献的几种效应： a.总的背散射系数，随样品的倾斜成单调函数增加 b.背散射电子的角度分布于样品的倾斜角有关。在垂直入射 θ=00时，分布遵循余弦定律，而在θ00时，这个分布在向 前散射的方向上趋于一个明显的峰。 c.总的二次电子系数随表面的倾斜角而变化，近似为 δ∝δsecθ=δ0/cosθ,因此倾斜表面产生的二次电子比垂 直电子束表面的多。 §4-4图像质量 1.反差阈 SEM成像过程本质上是离散事件的计数（取样过程的时 间内，随机分布先后到达的二次电子等信号就是离散事件） 探测器检测到的信号S就是对这些离散事件的计数n。有人研 究了噪音对图像的影响，导出了一个公式： 阈值公式：ⅰb4×10-12/εc2tf ib是束流ε是接收效率;c是样品衬度;tf是帧扫时间 从阈值公式我们可以看出，在规定的帧扫描和收集效率下，检测图 像中两点的反差值C，可算出必须利用的最低束流。如果规定了某个