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基于信号调理芯片实现桥式传感器高精度校准 作者： 常宇飞 苏州纳芯微电子有限公司 现场应用经理 摘要：压力传感器是现实生活中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业控制，汽车电子，医疗设备， 本文主要针对应变电阻惠斯通电桥式传感器的生产标定做出简要说明，以供压力传感器工程人员参考。限 于编者水平有限，望读者对文中不妥和错误之处给予批评指正。 关键词：NSA2300 信号调理芯片；惠斯通电桥；压力传感器校准 R1 R2 传感器特性 Uout 图1 为直流电桥，当前输出电阻无限大时，则前桥的输出可 R3 R4 简化如下： = ( 1 ) − ( 3 ) Uin 1 + 2 3 + 4 图1 直流电桥 图 2 （左）为 xxx 型压力传感器输出特性曲线。分别为在- 40 °，0 °，25 °以及85 °温度环境中测试电桥在不同压力下输出。实际应用中我们往往期望传感器输出与 温度无关且线性，如图2 （右）。受限于MEMS 设计制作工艺、材料物理特性等，MEMS 传感器本身很难达 到理想要求，实际应用中往往需在MEMS 后端加入信号调理芯片对其进行校准。 传感器特性 期望输出特性 50 40 35 40 30 30 25 20 20 15 10 10 5 0 0 0 50 100 150 -10 0 50 100 150 -40° 0° 25° 85° -40° 0° 25° 85° 图2 由图2 可看出传感器输出不理想因素主要有：零点漂移（offset ），灵敏度（Sensitivity ），以及其非线性 （Nonlinearity）。其中零点漂移（offset ）和灵敏度（Sensitivity ）均受温度影响，即体现为温度系数。可分别 由如下公式表示： ′ = ( − ) ∗ 公式1 公式1 为理想传感器输出特性，而实际传感器特性则需借助于公式2，3 ，4 分别对非线性（Nonlinearity）， 零点漂移（offset ），灵敏度漂移（Sensitivity ）进行描述。