扫描电镜的成像过程.pptVIP

三：电子束与样品的相互作用 　　SEM能显示各种图像的信息是由于电子束与样品的相互 作用而产生的各种信号。选择参数合适的电子束照射到样品 上，形成图像的信息来源于样品上电子束照射的部位，理想 情况是信息取样面积应该等于电子束的直径，但是实际上并 非如此。 　　１.散射 　　２.相互作用区 　　３.背散射电子 　　４.二次电子 　　５.特征Ｘ射线 　　散射是由于电子束与样品的原子和电子相互作用而产生 的电子束路径或能量的变化，或者两者同时发生。 　　截面或散射事件的几率：Ｑ＝Ｎ/ｎｔｎｉ　（ｃｍ２） 　　Ｎ为单位体积中发生散射事件的数目 　　ｎｔ为单位体积中靶位的数目 　　ｎｉ为单位面积中的入射粒子数 　　ｃｍ２理解为一个原子在给定的相互作用中的有效面积 电子在两个特定散射事件中穿行的平均自由程或平均距离： λ＝Ａ/ＮoρＱ(cm) A为原子量No为阿伏伽德罗常数Ｑ为截面 　　 散射可分为：弹性散射和非弹性散射 １.弹性散射：电子能量无损失，散射角比较大 　弹性散射截面可以用卢瑟福公式描述： 　　　 在高原子序数和低电子能量的情况下易发生弹性散射。 ２.非弹性散射：电子将能量交换给靶的电子和原子，一次散射角比较小。 非弹性散射过程和扫描电镜有关的有： a.等离子激发 激发“自由电子气”以波的形式出现 b.二次电子 激发导带中松散结合的电子，出射能量为0-50ev c.内壳层电离 激发内壳层电子，在激发过程中发出特征X射线 d.韧致辐射 在靶的库伦场中减速，发出连续谱X射线 e.声子激发 引起样品温度升高（晶格振动） 单个过程的截面获得困难，可以用能量损失关系来讨论 低原子序数易发生非弹性散射 相互作用区 1.实验依据：由实验可得到相互作用区的轮廓，一种塑料聚 异丁烯酸甲酯（PMMA）在电子束轰击后，经过腐蚀可以观 察到相互作用的轮廓。 2.蒙特卡罗计算： 对于高原子序数 的材料，用蒙特 卡罗电子轨迹模 拟法研究相互作 用区域特别有用。 可以得出相互作 用区在接近电子 束轰击点处有一 个密集的核，而 且沉积的能量沿 径向逐渐减小。 相互作用区的线性体积a.随原子序数的增加而减小； b.随电子束能量的增加而增加；c.电子束与样品的 角度关系是倾斜角增加时，相互作用区变小 对于电子在固体中的穿行距离，即所谓的“电子范 围”有两种常用的模型来考虑： 1.Bethe范围 该范围大于实际范围 2.Kanaya-Okayama范围 Rk-o=0.0276AE01.67/Z0.889ρ（μm） 该范围与实际范围接近 电子束激发的各种信号产生的区域 背散射电子 70%的束电子在相互作用区消耗掉所有的能量，30% 的电子则从样品散射出来，这些从新出射的电子称为背散射 电子。出射的背散射电子带有在某个深度范围上的样品的性 质的信息。 背散射电子系数 定义为背散射电子数NBS除以入射到 靶位上的电子数NB。 1.背散射电子数随着原子序数的增加而增加 2.背散射电子数随样品的倾斜角增加而增加 3.背散射电子取样深度约为K-O范围的0.3倍（信息深度） BSE电子信号区域 二次电子 二次电子是指从样品中出射的能量小于50ev的电子 二次电子系数 1.范围和取样深度：取样深度较浅，计算出最大发射深度 约为5λ，横向扩散也相同。λ对金属约为1nm，非金属约 为10nm 二次电子的信息深度约为背散射电子的百分之一 2.与样品成分的关系：二次电子系数对样品成分的变化相 当不敏感，但是发射的二次电子中含有背散射电子激发的 二次电子，在特殊情况下也可以得到一点成分信息 δ总=δB+δBSη 3.与样品倾斜的关系 二次电子系数与电子束的入射方向有明显关系： 入射方向与试样表面法线方向一致，图像亮度最小 入射方向与试样表面法线方向成一定角度时，图像亮度增大 θ指电子束与样品表面 法线的夹角 试样表面有着不同程度的起伏，