电子薄膜热物性参数测量与分析论文.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 第f—一屈学术会议 编号：053007 电子薄膜热物性参数测量与分析 余建祖高红霞余雷 (北京航空航天大学人机与环境工程系，北京100083) Emam 联系电话：OlO-8233808l ghx—buaa@163．com 摘要：针对薄膜结构一焦耳加热实验研究方案，建立了单层和双层自持薄膜稳态和瞬态传热数学 模型，并充分考虑了薄膜热辐射和热探铡器热容对实验的影响。利用自行设计和制造的专用电子薄膜 传热实验台，间接测量了温度在300一420K范围内，厚度为038微米～1．2l微米的siM、s如。和Al。0。 薄膜的热导率、发射率、比热容和热扩散率。宴验结果表明，薄膜的微细结构会直接影响薄膜的热物 性参数，厚度为微米～亚微米薄膜的热导率和热扩散率低于相应休材质，体现出一定的尺寸效应，且 与薄膜厚度、温度有关：而比热容则与体材质相当。 关键词：微尺度传热，热物性参数，siN。薄膜，si02薄膜，A1203薄膜，测量技术 1．引言 厚度为微米～亚微米量级的电介质固体薄膜是微电子、光电子、MEMs等器件中的 重要组件，薄膜传热性能的好坏直接影响着器件和系统的性能和可靠性。由于薄膜在一 个方向上的尺寸非常小(微米～亚微米)，这将可能导致薄膜的的热物性参数不同于体材 质材料值，传热特性也有可能区别于传统的宏观传热，因此亟需开展对电子薄膜传热性 能的研究…。屯子薄膜传热性能的研究是微细尺度传热领域的一个重要方面。 在过去几年中．国外技术发达国家的研究人员采用不同的实验技术获得了si02、 A120”金刚石等一些薄膜的热物性参数”。4J，但他们的研究工作主要集中在薄膜的导热 系数和热扩散系数方面，这对研究薄膜的传热问题是远远不够的，还有非常广泛和深层 的问题值得研究，例如：在薄膜传热性能研究中需要考虑的一个重要方面是薄膜的热辐 射，因为薄膜一般都有很大的面积／体积比，热辐射的影响是不容忽视的，求取薄膜的 发射率是研究薄膜传热性能的一个重要组成部分；通过热探测器热容损失掉的热流可能 f}相当比例，所以，不考虑薄膜或热探测器自身的比热容也会导致较大误差。 微电子元器件的热负荷、时间常数等具有很人影响，进而影响到微电子产品的性能．研 究表明薄膜的热物性参数不同于相应的体材质参数p4J，因此，测量与预测上述薄膜的 热物性参数对微电子元器件的设计与加工工艺等具有重大意义．本文介绍了一种间接获 得薄膜热物性参数的实验测量方法，该方法将金属加热单元和温度探测单元合二为一淀 积在臼持薄膜上(为了有效分离衬底的影响)，在考虑热辐射和金属线条(即温度探测 膜的导热系数和发射率，采用瞬态方法测取了比热容和热扩散系数，并对实验结果进行 1327 了分析讨论。 2．实验方法 2．1．薄膜实验样件 刻蚀等：[艺来获得长6、宽，+g、厚d。的自持薄膜，且满足6，+譬，从而获得SiM 在已获得的自持薄膜上通过真空蒸发淀积一导电性良好的金属(Au)线条作为电阻式热 探测器(图1c)，其宽为g、厚为以，且满足暑‘，．由于对流换热问题分析非常复杂， 为简化问题分析，消除对流对实验的影响，将薄膜放在自行设计、制造的高真空 (5x10。Pa)、“黑环境”容器内进行实验测量． 厂 蚴t g _～ _____ SlNx “度或 嚣槲嘞进厚度t L