器件的两维分.PDF

七 南 京 工 学 倪 学 报 卫 第十 卷 ! ∀ ! ∀ #∃ % ! ! 第 一 期 件 的两 分 析 器 维 何 野 魏 同立 电子工程 系 文 器 了两 , 摘要 应 用 自洽场理论对 件进行 维 分析 。 了相 , 结 并开 发 应 的模拟软件 棋拟 果与实验基 吻合 。 器 , 两 , 关键词 件 维分析 模拟 引 言 电 的 进一 , 基 的 寸 , 器 的短沟道 随着集成 路 集成度 步提高 其 元件 尺 越来越小 件 。 , 效应 的两维 分 器 道效应的有 手段 已 十分 越来越显著 器件 模拟作为 析 件短沟 效 成为 , , 活跃的 课题 面的工 国 开 较早 代 的 的 法 流函 研究 这方 作 外 展 具有 表性 有 特征线 数 仁 ‘〕 , 。 的 限差分法 国 人用 法对 了 法 有 川 内也有 有畏元 器件进行 模拟 〔 〕 , 。 , 这 面的工 开展尚不深入 文利用 自洽 两维 件 但 方 作 场理论模拟 器