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管式炉与马弗炉汇编
BUCT Beijing University of Chemical Technology 管式炉与马弗炉的使用、注意事项及禁止操作 使用说明 1 管式炉用途： 目前有大小两种管式炉， 两者均能通氮气（惰性气氛）进行热处理实验； 大炉子开始应用于CVD（化学气相沉积）。 装置：气体流量；石英管；炉子。 使用说明 2 管式炉使用方法 如图示，顺时针旋转解开lock，显示turn on的状态。 按下右上角A/M键开始设置温度和时间，每设置好一个参数按下左上角按钮确定。 程序升温即表示升温过程按设定参数进行，C01经过t01后达到C02，再经过t02达到C03，以此类推。 设定的参数为起始/终止温度及其时间段。 实验前要了解实验所需升温速率及保温时间 设置参数完毕，同时按下第一排的两个按钮归位至起点，长按左下角RUN开启升温。 使用说明 3 气体流量装置 流量装置可通入氢气，氮气，乙炔和甲烷（左到右）。 目前使用：氮气和乙炔 惰性气氛热处理，需要先氮气吹扫。开启流量装置和相应气体，将示数下的档位拨至清洗档即吹扫10min，再拨至阀控档即可开始升温。 使用说明 4 使用管式炉，石英管 1) Fig 1, 石英管右端装有法兰，适当调整长度ab, 以免管子产生应力损坏；承受温度≤900℃； 2) Fig 2,瓷舟内含KOH样品膨胀较大会引起样品受热区域的改变，可适当调整位置。可适当减少样品量减少KOH对石英管的腐蚀； 3)Fig 3, 高温区域尽量避免管子可能腐蚀损坏的位置。 另外，CVD系统单独使用石英管。 使用说明 5 马弗炉用途及使用方法 马弗炉常用于制备氧化物材料中的热处理过程。 马弗炉不能通入惰性气体。 使用方法同管式炉，均为程序升温。 注意事项及禁止操作 1、CVD使用乙炔时，不能用小管式炉进行氮气保护热处理； 2、热处理过程中务必开启通风橱； 3、在温度降至200℃以下时可以打开管式炉少许，加快降温； 4、使用务必预约登记； 5、严禁将屋外钢瓶的分压阀调至0.5兆帕以上，以免损坏流量装置； 6、严禁随意取出他人样品；如需取出务必通知样品所属人，并妥善保存样品； 7、严禁在402使用明火。 BUCT Beijing University of Chemical Technology
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