磁控溅射含Ti非晶碳膜的微观结构分析.pdfVIP

维普资讯 第37卷 第4期 稀有金属材料与工程 V_01_37．No．4 2008笠 4月 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERJNG April2008 磁控溅射含 Ti非晶碳膜的微观结构分析 杜 军 ，张 平 ，何家文 2 (1．北京装 甲兵工程学院 装备再制造技术国防科技重点实验室，北京 100072) (2．西安交通大学，陕西 西安 710049) 摘 要：用磁控溅射方法制备了含 Ti4at％，18at％，27at％的非晶碳膜 。用 XPS分析 了含 Ti18at％碳膜的碳键结构、化 合物组成 。结果发现 ：碳膜 的C1s峰在284eV附近 ，碳膜 中sp：sp=14．6：6．3，sp 占明显优势，碳键结构以sp为主； Ti2p谱的455．2eV处的峰对应 TiC，说 明形成了TiC。用 XRD对含 Ti4at％，18at％，27at％碳膜进行物相分析 。结果 发现：含 Ti18at％和 27at％时，都存在 TIC(111)，TiC(200)和 TiC(220)晶向，但 27at％的Ti(111)取 向更加 明显；4at％ 时，没有发现 TiC相 。TEM 的分析结果证明，含 Ti18at％的碳膜在非晶的基体上分布有 TiC的颗粒 。四点探针法 (FPM) 测定 3种非晶碳膜 的电阻率分布在 9×10s-2×104Q．m之间，随着 Ti含量的增加 ，电阻率减小。可 以认定：磁控溅射 制备的碳膜是碳键结构以sp为主的非晶碳膜 ，加入一定量 Ti后 ，在非晶的基体上形成 Ti化合物 的晶体颗粒。 关键词：碳膜 ；碳键结构；微观结构；非 晶 中图法分类号：TB43；O613．71 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2008)04．0633．04 非晶碳膜因其碳杂化态和含氢量的不 同而有多种 本研究应用磁控溅射的方法制备了含 Ti4at％， 名称，如 a—C，Ta．C，a．C：H，DLC等 1【q]。研究中， 18at％，27at％的非晶碳膜 ，采用 XPS、xRD、TEM 主要关心碳的sp3、sp、sp。3种杂化态的含量。一般 和 四点探针测 电阻(FPM)对碳膜 的微观结构进 行 了 情况下，DLC膜指含 H 的 sp 键含量可达 75％的非 分析。 晶碳膜，其性质主要由sp3：sp之比决定。这种膜具有 1 实验方法 硬度高、摩擦系数低 的优点，作为抗磨减摩镀层受到 了广泛关注 。 选用 M2高速钢(W6Mo5Cr4V2)为基材，经常规 但 DLC薄膜通常具有较高的内应力，这使得其沉 热处理后进行表面抛光处理，硬度为 HRC63～66，表 积厚度受到严重限制且易产生剥落；同时，DLC同铁 面粗糙度为R=0．03 m。试样经 741除油剂清洗，磷 基材料之间存在触媒作用(ag与黑色金属接触 时发生 酸活化后丙酮超声波清洗，放入真空室，用氩离子溅 sp 向sp转变、，限制 了其应用[5，6]。为了克服 DLC的 射清洗 ，然后进行沉积 。膜层厚度一般 2～3岬 。 以上缺点，Dimigen等r7J建议在 DLC中加入合金元素 2 结果与讨论 形成所谓的合金碳膜 (Me．DLC或 Me．C：H)。合金碳 膜保持 了优异的摩擦学性能同时内应力显著降低 ，提 2．1 XPS分析 高了膜基结合强度 ，从而拓展了 DLC 的应用。Teer 图 1是含 Ti18at％碳膜 的XPS全谱 。存在