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振 动 与 冲 击 第27卷第4期 JOURNAL OF VIBRATION AND SHOCK 辅助气室连通的空气弹簧隔振系统隔振特性研究 刘 彦，谭久彬， 王 雷，谭志波 (哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所，哈尔滨 150001) 摘 要：基于气体能量微分方程，建立了由两个辅助气室相互连通的空气弹簧组成的隔振系统传递率数学模型。 该模型描述了阻尼比 、流量系数比A、主／辅气室容积比Ⅳ三者与传递率之间的对应关系。由此精确分析了辅助气室相 互连通对隔振系统垂向平动y和绕重心转动0这两个自由度隔振特性的影响，结果表明：辅助气室相互连通对Y自由度 隔振性能没有影响；合理匹配A和 ，可使系统0自由度超低频隔振性能提高30dB，合理匹配A和Ⅳ，系统0自由度的谐 振区隔振性能可提高20dB且高频隔振性能保持不变。 关键词：空气弹簧；辅助气室连通；隔振特性 中图分类号：0328 文献标识码：A 随着超精密测量和加工技术的不断发展，对环境 L ，以垂向位移 和 作为系统输入，取重心O的垂向 振动隔离提出了越来越高的要求，例如在激光直写领 位移Y和台体绕重心轴转动角度0为系统输出。 域，LumArray公司的并行激光直写设备ZP150A可加 工的最小特征尺寸为150nm，因而由一般振动所引起 的直写头位移变化必须小于15nm¨ ，而且因该类设备 自身质量较大，需将其放置到专用的超大型隔振基础 之上，以为其提供稳定的超静工作环境。由于空气弹 簧在具有较大承载能力的同时具有较低的刚度，可使 整个隔振系统具有优良的隔振性能，因此在超精密仪 器领域使用的超大型隔振平台中应用广泛 ‘。’ 。为提 1．台体 2．空气弹簧主气室 3．空气弹簧辅助气室 4．连通管 5．阻尼孔 高隔振系统隔振性能必须对空气弹簧隔振机理进行了 图1 空气弹簧辅助气室相互连通的隔振系统原理图 深入的研究，张土义 和郭荣生 等人利用气体状态 方程对空气弹簧隔振机理进行研究，C．Erin 和C．M． 首先以第一个空气弹簧的主气室为研究对象，其 Harris 等人从气体能量微分方程出发对空气弹簧隔 中的气体总能量由该温度时气体的内能以及它在压缩 振机理进行了深入研究。但是他们研究的对象主要是 或者膨胀时得到或者损失能量这两部分组成。用焓的 针对单个空气弹簧，而实际应用中，尤其对于超大型隔 变化率可以表示为 ： 振基础，为了实现台体的快速、精确高度控制，往往将 H：U+E：W％T (1) 多个空气弹簧的辅助气室相互连通并编成一组，以统 式中 是焓随时间的变化率。 是内能的变化率，E是 一 控制，这势必会对系统隔振性能产生影响，因而对该 对气体做的功的变化率， 是气体重量的变化率，c。是 影响机理的研究就成为亟待解决的问题。本文以两个 气体在等压时的比热， 是气体的绝对温度。 辅助气室相互连通的空气弹簧组成的隔振系统为研究 而内能变化率和对气体做功变化率可以表示为： 对象，研究辅助气室连通对隔振系统隔振特性的影响。 1 系统模型 iy：Wc 警 (2) 式中Cv是气体在等容时的比热， 为气体常数。 两个辅助气室相互连通的空气弹簧组成的隔振