结合飞秒雷射直写技术与化学修饰方法制作三维表面增强拉曼散射基板.pdf

製作三維表面增強拉曼散射基板 物理專文 結合飛秒雷射直寫技術與化學修飾方法 製作三維表面增強拉曼散射基板 撰文　林建宏、黃家琪、杜名碧、巫晟逸、楊子萱、周禮君、張天立、 　　　林宏彝、甘宏志、許佳振 　　基於飛秒超快雷射之雙光子光聚合化 (two-photon polymerization) 雷射直寫式技術，製 作出三維柴堆型 (woodpile) 光子晶體結構，並且結合化學修飾方法於三維結構修飾上均勻的 金奈米粒子。藉由三維結構的骨架，可以大幅的增加金奈米粒子之單位體積密度，並可提升 表面增強拉曼散射 (surface enhanced Raman scattering, SERS) 光譜訊號。此種修飾有金奈 米粒子之三維結構可作為 SERS 基板。 前言 雙光子聚合化雷射直寫式技術 ，使用近紅光波段 雙光子聚合化(two-photon polymerization, TPP) 雷 的飛秒(femto-second) 雷射 ，經由一高倍率物鏡聚焦 射直寫式(direct laser writing, DLW) 技術 ，提供了一 到光阻材料 ，令光阻產生雙光子吸收 ，進而引發聚 個非常便利且無光罩(maskless) 的方法 ，可以使用 合化效應 ，由於在聚焦點區域的光強度才足以誘發 雷射直接製作出三維次微米(sub-micrometer) 結構 ， 此一效應 ，再加上飛秒雷射的脈衝寬度非常短 ，作 其橫向解析度可突破光學繞射極限。日本的 Kawata 用於材料的時間非常短 ，熱的累積效應非常有限 ， 等人成功地應用此技術 ，製造出橫向解析度為 120 因而可獲得次微米尺度的結構 ，藉由精密三維平台 奈米的三維微結構[1, 2] 。德國的 Soukoulis 等人則 控制聚焦點位置 ，則可以得到任意形狀的三維次微 是應用此技術製作通信波段之三維光子晶體[3] 。 米結構 。圖一為雙光子光聚合化雷射直寫式技術實 近年來 ，Gu 等人則是應用此技術製作出三維柴堆 驗架設圖[5] 。除了上述所提之飛秒雷射 、高倍率物 (woodpile) 型光子晶體(photonic crystal) 結構 ，並且 鏡和精密三維平台外 ，我們還利用反射式共焦訊號 應用其光子晶體之光子能隙(photonic band gap) 特性 系統(confocal system) 來偵測與決定樣品與空氣的介 於提升與抑制量子點(quantum dots) 之螢光訊號[4] 。 面 。 在本文中，我們結合雷射直寫技術與化學修飾方 雙光子聚合化雷射直寫式實驗使用波長為830 法 ，製作出修飾金奈米粒子(Au nanoparticles) 之三 nm 、脈衝寬度為 100 fs 、重覆率為90 MHz 之鈦藍 維柴堆型結構 ，藉由立體結構提升金奈米粒子之密 寶石雷射 ，樣品為商用負光阻SU-8 ，控制適當的曝 度進而提升表面增強拉曼散射(surface enhanced Ra- 光光強度和時間 ，我們可以得到半徑約為100 nm 的 man scattering, SERS) 訊號 。一般而言 ，金奈米粒子 次微米柱結構( 如圖二(a) 所示) 。藉由電腦軟體將 與金奈米粒子間會藉由表面電漿效應 ，形成很強的 任意圖像轉換成數位訊號 ，控制三維平台即可得到 局部電場(local field) ，其局限的電場強度與入射光 二維和三維任意微米結構 ，圖二(b) 為二維 “中正大 相比 ，可增加至104 至105 倍 ，所以金奈米粒子常被 學＂字樣 ，和製作三維微米錂鏡陣列( 如圖二(c)) 。 用來提升SERS 訊號 。