logo

您所在位置网站首页 > 海量文档  > 专业论文 > 综合论文

大规模集成电路制造洁净厂房消防设计.pdf 5页

本文档一共被下载: ,您可全文免费在线阅读后下载本文档。

  • 支付并下载
  • 收藏该文档
  • 百度一下本文档
  • 修改文档简介
全屏预览

下载提示

1.本站不保证该用户上传的文档完整性,不预览、不比对内容而直接下载产生的反悔问题本站不予受理。
2.该文档所得收入(下载+内容+预览三)归上传者、原创者。
3.登录后可充值,立即自动返金币,充值渠道很便利
特别说明: 下载前务必先预览,自己验证一下是不是你要下载的文档。
  • 上传作者 heroliuguan(上传创作收益人)
  • 发布时间:2017-07-19
  • 需要金币100(10金币=人民币1元)
  • 浏览人气
  • 下载次数
  • 收藏次数
  • 文件大小:5.03 MB
下载过该文档的会员
大规模集成电路制造洁净厂房消防设计.pdf
你可能关注的文档:
||={_j_=_{i骥{蕤瓣蠹j壤}瓣i:ii 大规模集成电路制造洁净厂房消防设计 李三良,蔡娜,箍维廷 (中芯国际集成电路制造有限公司,上海201203) 摘要:从近年大规模集戍电路裁造洁净厂房消防设计案 丙类。然而,依据GB 例及日常运行的实际经验出发,结合国内相关标准及国际标准 净厂房的火灾危险性类别存在一定困难,主要原因表现 的相关规定,对大规模集成电路制造洁净厂房消防设计中的一 为集成电路制造洁净厂房中使用到的主要原材料和成品 些要点进行了探讨,并给出相应的建议性设计方式及依据,包 是硅晶片,其属于不可燃固体,但生产中又使用到种类繁 括火灾危险性等级、耐火等级及防火分区的确定,火灾自动报 多的分属于甲、乙和丙类的液体及爆炸性气体,这些化学 警系统、自动灭火系统、机械排烟系统及其他需特殊设备设施 品通过管路供应到厂房各区域的制程设备。以上特征导 消防保护等的设计要求及需特别注意的要点。 致集成电路制造洁净厂房具备物质的火灾危险性类别 关键词:消防设计;集成电路制造;洁净厂房;耐火极限; 多、分布广、使用量少的特点,难以根据生产的性质确定 吸气式感烟系统 火灾危险性类别,也难以通过面积法计算出某一火灾危 文献标志码:B 中图分类号:X924,4。TU274 险性类别所占的比例。因此,GB 文章编号:1009--0029(2015)04—0474~05 确定大规模集成电路制造洁净厂房的火灾危险性类别。 国家标准GB 集成电路制造中使用了很多种类的易燃易爆化学 规范》和GB 品,且化学品管路密集,极易发生火灾事故。同时,由于 电路制造洁净厂房的特点,在GB 空间封闭、资产价值高且集中、机台设备易受损于火灾烟 础上对集成电路制造洁净厂房各操作车间的火灾危险类 气、制程排气管路连接各个危险区域及设备以及恢复洁 别做了更明确的规定。GB 净生产区域的周期长、受损设备的修复或重新采购周期 50073 作间以丙类或丁类火灾危险性类别进行设计。GB 长等原因,集成电路制造行业极易因火灾造成重大损失。 —2013规定各主要操作间以甲类、丙类或丁类火灾危险 而随着技术发展的需要。集成电路制造洁净厂房越来越 性类剐进行设计。近年建设的集成电路制造洁净厂房一 趋向于大规模化,其火灾损失也越来越严重,如何有效设 般都以丙类厂房火灾危险性类别进行设计,如表1所示。 计大规模集成电路制造洁净厂房内消防系统极为重要。 建议设计集成电路制造洁净厂房应以丙类厂房设计。 在大规模集成电路制造洁净厂房的消防设计中,火

发表评论

请自觉遵守互联网相关的政策法规,严禁发布色情、暴力、反动的言论。
用户名: 验证码: 点击我更换图片

“原创力文档”前称为“文档投稿赚钱网”,本站为“文档C2C交易模式”,即用户上传的文档直接卖给(下载)用户,本站只是中间服务平台,本站所有文档下载所得的收益归上传人(含作者)所有【成交的100%(原创)】。原创力文档是网络服务平台方,若您的权利被侵害,侵权客服QQ:3005833200 电话:19940600175 欢迎举报,上传者QQ群:784321556