- 1、本文档共34页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
微机电系统mems与奈米机电系统 - 高雄第一科技大学
第四章 微奈米機電工程 4.1 前言 機電系統 最早有紀錄的機電系統儀器,是在1785年時由Charles-Augustine de Coulomb建造用來量測電子電量。他的電扭矩平衡包含了兩個球型金屬球,一個是固定的,另一個則是沿著一根桿移動,這機構的運作有點類似電容板。此例子說明了,大多數機電系統裡兩個常見的基本原件:一個機械原件和一個感測器(transducer)。 微機械電子系統 (微機電)Micro-Electro-Mechanical-System (MEMS) 4.2 微機電系統 MEMS的發展由來,根源於1960年代中期利用半導體製程,製造機械結構於矽晶片上的概念後,吸引了許多人投入該技術的研究。 到了1970年代中期,利用該製造技術,結合機械和電子元件的半導體感測器,成功地開發出來。 1980年後,研究內容也不侷限於感測器,還包含一些複雜的機構與元件,如幫浦、閥門、齒輪、馬達、夾子等等。研究目標已訂在發展一個完整的微型系統,包含感測、致動、訊號處理、控制等多項功能的系統,例如微型機器人和微型硬碟機。 一般而言,對於能夠把每個微結構元件或系統本身尺寸定義在微米範圍,或是微結構的機械運動範圍,能夠達到微米的精準度或位移量,在這樣的精度與尺寸範圍內的微元件,我們皆可以稱之為微機電元件,而把這些微機電元件與其他周邊IC組成的系統稱為微機電系統。 微機電系統的特性與優點 微機電系統的特性與優點如下: 當一個機械系統從傳統大小縮小至微機械系統時,因其組成元件尺寸的微小化,故系統的精度大為提高。 因為尺寸的微小化,質量都很小,許多巨觀世界不需考慮的物理特性與環境因素,在此都無法省略。 在生產上所消耗的產品原料少,且在製造與整合上,多利用現有的半導體製程技術或是其他的特殊技術,易於大量的批次生產,大幅降低生產的成本。 方便於更多可攜式產品的衍生與複雜系統的簡單微小化。 微機電系統(MEMS)與奈米機電系統(NEMS) 靜電共振器 4.3 微機電元件之簡介 4.4 微機電系統的製造技術 薄膜成長 (2) 微影罩幕 (3) 蝕刻成型 矽微加工技術 (1)塊材矽微加工技術(Bulk silicon micromachining) (2)面型矽微加工技術(Surface silicon icromachining) MCNC, USA 3 Poly 0-1-2 1 metal 2 oxides (3) LIGA 技術 微光刻電鑄造模(LIGA process)是另外一種加工技術,其中LIGA是德文字Lithographie Galvanoformung Abformung的縮寫,主要是綜合光學、電鍍、模造等三項技術來製作微機械元件,可知LIGA技術是由德國所發展出來的。 LIGA技術是以X-ray為主的光蝕刻技術,利用製程圖型的光罩或光阻,選擇性地保護工件表面後,以各種不同光源蝕刻未被光罩或光阻覆蓋的部分,再結合電鑄翻模與射出成型技術,而得到欲加工的幾何形狀。 LIGA技術可以得到高深寬比的微結構,所應用的材料種類也較廣泛。 LIGA-Lithography Galvanoformung [Electroplating] Abformung [Injection Molding]; Used to make very high aspect ratio micro moulds that can be used for high volume manufacture LIGA, a German acronym for lithography, electroplating, and molding, has become the dominant methodology for High Aspect Ratio Micromachining (HARM), which can best be described as micro-fabrication processes which produce tall microstructures with vertical sidewalls. HARM devices have the benefit of stiffer structures, increased mass, larger actuation forces, and an easier fit with the macro-world. 4.5 微機電系統的應用 (1) 微機電系統於人工義肢的應用 (2) 微機電系統於航太產業的應用 4.6 奈米機電系統的優點(1/3) 奈米機電系統的優點(2/3) 奈米機電系統的優點(3/3) 4.7 奈米機電系統的製程 台大微機電中心的成果Samples of N
您可能关注的文档
- 应用地球物理―地震勘探原理与方法.doc
- 应用抗凝药条件下全髋关课置换后自体引流血的回输.pdf
- 应用重组酵母菌报导基因试验法评价台湾河川中类雌激素物质之分布.ppt
- 幼儿园 2015年培训内容火灾危险性及其特点消防基础知识三 .ppt
- 康有为政治人格的形成与发展魏万磊21 - 中国青年社会科学.pdf
- 廖夆淇2009 土地利用型态组成与都微气候关系之实测研究-以 .doc
- 建筑结构试验教程1.ppt
- 建筑工程叠层橡胶隔震支座性能要求和检验方法 - 云南住房和城乡 .doc
- 建设项目方案三维模型制作要求 - 重庆规划局.doc
- 开展2006~2007学年第一学期 - 长江大学教务处.doc
- 四川省德阳市罗江中学2025届高三考前热身化学试卷含解析.doc
- 山东省枣庄现代实验学校2025届高三下学期第五次调研考试化学试题含解析.doc
- 吉林省长春市十一高中等九校教育联盟2025届高三一诊考试生物试卷含解析.doc
- 2025届江苏省盐城市伍佑中学高考仿真模拟化学试卷含解析.doc
- 2025届广西贺州中学高考冲刺押题(最后一卷)生物试卷含解析.doc
- 安徽省池州市贵池区2025届高三第一次模拟考试生物试卷含解析.doc
- 宁夏银川一中2025届高三(最后冲刺)化学试卷含解析.doc
- 广东省广州市增城区四校联考2025届高考压轴卷化学试卷含解析.doc
- 2025届邯郸市第一中学高考生物必刷试卷含解析.doc
- 2025届安徽省安庆市石化第一中学高考仿真卷化学试卷含解析.doc
最近下载
- 樊登老师推荐:《你就是孩子最好的玩具》(完整版).pdf
- 凯迪克金奖原版绘本Sylvester and the Magic Pebble.pdf
- 外廓尺寸检测系统作业指导书.docx
- 初中教科研课题:《初中语文主题阅读教学的实践探究》子课题结题报告 .pdf
- 初中物理《声现象》.ppt VIP
- 最新2023版知识产权贯标GBT29490表单 知识产权目标策划管理方案[知识产权合规管理体系文件].docx
- (2024版)AOPA无人机驾驶证认证考试题库-上部分(500题)(含答案).pdf VIP
- 《中国共产党简史》第四章 夺取新民主主义革命的全国性胜利.pptx VIP
- 医院创建优质服务基层行创建资料(3.4.3护理安全管理).docx VIP
- 初三家长会班主任的发言稿.doc VIP
文档评论(0)