脉冲偏压占空比对复合离子镀犜犻犆荦涂层方案.PDFVIP

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2017-07-20 发布于湖北
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脉冲偏压占空比对复合离子镀犜犻犆荦涂层方案.PDF

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第卷第期中国表面工程２７４Ｖｏｌ．２７Ｎｏ．４　　　　　年月２０１４８ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧＡｕｕｓｔ２０１４ｇ：／ｄｏｉ１０．３９６９．ｉｓｓｎ２０１４．０４．０１６ｊ脉冲偏压占空比对复合离子镀犜犻犆犖涂层结构和性能的影响 程芳，黄美东，王萌萌，范喜迎，李云珂，刘野　　（天津师范大学物理与材料科学学院，天津３００３８７）摘要：采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备ＴｉＣＮ涂层，通过改变脉冲偏压　占空比的大小获得了不同的涂层试样，利用台阶仪、射线衍射仪（）、扫描电子显微镜（）、维氏硬度ＸＸＲＤＳＥＭ计等对涂层进行表征，研究占空比对ＴｉＣＮ涂层组织结构和力学性能的影响。结果表明：随着脉冲偏压占空比的增加，涂层的表面大颗粒逐渐减少，表面形貌得到改善。涂层结构中，（）晶面的择优取向趋势ＴｉＣＮ１１１明显，沉积速率和显微硬度均出现先增大后减小的趋势，且在占空比为４０％时均达最大值。ＴｉＣＮ涂层的最高硬度为，约为基底硬度的倍。３８００ＨＶ０．０２５４关键词：复合离子镀；脉冲偏压占空比；ＴｉＣＮ涂层；显微硬度中图分类号：文献标志码：文章编号：（）ＴＧ１７４．４４４Ａ１００７９２８９２０１４０４０１０００７　　　　　　犈犳犳犲犮狋狊狅犳犇狌狋狉犪狋犻狅狅犳犘狌犾狊犲犱犅犻犪狊狅狀狋犺犲犛狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳狔狆犜犻犆犖犆狅犪狋犻狀狊犫犎犫狉犻犱犐狅狀犘犾犪狋犻狀犵狔狔犵，，，，，ＣＨＥＮＧＦａｎＨＵＡＮＧＭｅｉｄｏｎＷＡＮＧＭｅｎｍｅｎＦＡＮＸｉｉｎＬＩＹｕｎｋｅＬＩＵＹｅｇｇｇｇｙｇ（，，）ＣｏｌｌｅｅｏｆＰｈｓｉｃｓａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅＴｉａｎｉｎＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔＴｉａｎｉｎ３００３８７ｇｙｊｙｊ犃犫狊狋狉犪犮狋：