New!更高像素摄像头New!更快的测量速度New-便携式白光干涉仪.PDF

SmartWLI-Prime Dual Z-axis双轴三维形貌轮廓仪 ——配备 0.1nm高分辨率 的小量程 Z 轴和小于 100nm分辨率的大量程 Z 轴 New ! 更高像素摄像头 New ! 更快的测量速度 New ! 更佳的LED电源 New !更好的干涉物镜  产品特点 1 ．两种 Z轴移动控制模式 ，压电陶瓷马达控制小量程和 步进电机控制大量程,整体测量范围实现 0.1nm~100mm ； 2 ．小量程 Z轴实现最大400um的测量范围 ，测量分辨 率在 PSI模式下 0.1nm ； 3 ．大量程 Z轴实现最大 100mm的测量范围 ，测量分辨 率小于 100nm ； 4 ．Z轴方向移动的实现自动控制 ，通过相关软件和控制 手柄可自动对焦 ，同时Z轴采用自动拼接技术 ，实现整 体全自动测量 ； 5 ．标配压电陶瓷马达控制的Z 轴测量头 ，样品垂直方向 测量最大高度 ：400um ，测量分辨率 PSI模式 ： 0.1nm ，VSI模式 ：1nm ； 6 ．配置控制和快速采集信号采集软件 SmartWLI_VIS ， 采集时间快 ； 2015年 11月, 德国WinWinTec公司再次向市场推出了 一款由我公司代理的SmartWLI品牌的三维相貌轮廓仪 ，该产 品将两种Z 轴方向的移动控制模式整合在一起 ，是两种模式一 体化 ，可以实现两种Z 轴移动模式的自由切换 ，测量范围从 nm水平到 mm水平 ，实现纳米分辨率到亚微米分辨率 ，可测 量不同类型的产品 ，适用于大轮廓形貌到微小形貌的多种应用 需求。  产品测量结果图像 1. 3D 图 螺纹副 图像 图2. 螺纹副局部表面形貌  产品配置参数 测量系统 测量原理 白光干涉 纵向测量范围 (um) Max 100mm (其中 Piezo 模式 Max ：400um ，Z-actor模式 Max ：100mm) 摄像头参数 New ！ CCD摄像头 ；1936×1216像素 ； 光源 (nm) New ！ LED 542 ，高亮度 ，软件控制 ； 纵向分辨率 （nm ） PSI模式 ：0.1nm ，VSI模式 ：1.0nm, Z-actor模式 ：＜100nm ； 最大扫描速率 （μm/s ） 48 ； 测量时间 （Z 轴方向 20um ）New ！ 小于 3s ； 台阶高度重复性和准确性 ： <0.1% 和 0.75% ； 最大坡度 ： 42° （光滑面 ）和 87° （粗糙面 ）； Z 轴对焦和样品