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平板式压电六维力力矩传感器的研制.PDF 11页

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平板式压电六维力力矩传感器的研制
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第 卷 第 期 光学 精密工程 19 7   Vol.19 No.7               O ticsandPrecisionEnineerin           年 月   p g g 2011 7 Jul.2011       文章编号 ( ) 1004924X201107156911   平板式压电六维力/力矩传感器的研制  刘 俊 ,秦 岚,李 敏,刘京诚,薛 联         ( 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室,重庆 ) 1. 400044 摘要:针对弹性体式六维力/力矩传感器存在的技术瓶颈,提出了一种新型平板式压电六维力/力矩传感器。首先,介绍 了传感器的结构和工作原理,提出了两种石英晶片组布置方案。然后,推导了两种布置方案的传感器的数学模型,并建 立了有限元模型,仿真得到了两种结构传感器输出的电荷灵敏度、维间干扰、固有频率等重要参数,确定了石英晶片组相 对合理的布置方式。最后,对传感器进行了静态和动态标定。研究结果表明:传感器结构简单合理、仿真分析方法和数 学模型正确,固有频率>25kHz,使用退耦矩阵后传感器的维间干扰<3%,基本满足传感器的设计指标。 关 键 词:压电传感器;六维传感器;力/力矩传感器;有限元分析     中图分类号: 文献标识码: : / TP212.12 A 犱狅犻10.3788OPE1569       / 犇犲狏犲犾狅犿犲狀狋狅犳犪狉犪犾犾犲犾犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮狊犻狓犪狓犻狊犳狅狉犮犲狋狅狉狌犲狊犲狀狊狅狉 狆 狆 狆 狇  , , , , LIUJun QINLanLIMinLIUJinchen XueLian g g ( 1.犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犜犲犮犺狀狅犾狅 犪狀犱 狔 狔 犳 狆 犵狔 , , , ) 犛狊狋犲犿狅 狋犺犲犈犱狌犮犪狋犻狅狀犕犻狀犻狊狋狉 狅 犆犺犻狀犪 犆犺狅狀 犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犆犺狅狀 犻狀 400044犆犺犻狀犪 狔

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