附录四：振镜高精度校正 - 费米激光.doc

FM-UVM3 紫外激光精密蚀刻系统 操 作 说 明 上海费米激光科技有限公司 服务电话: 021地址：上海市松江区申港路215号511 网址： 目录 前 言 4 警 告！ 5 电气安全 5 设备说明 6 组成部件说明 7 参数 8 操作指导 9 一．开机流程 9 二．关机流程 9 维护 10 注意事项： 10 简单故障处理： 10 附录一：振镜校验 11 附录二：二次定位加工 11 附录三：激光精密蚀刻软件通用操作指导 11 第1章 第一次使用 11 第2章 详细介绍 13 2.1 主界面 13 2.2 菜单栏 14 2.3 工具栏 17 2.4 绘图栏 21 2.5 操作区 22 2.6 标记参数栏 24 第3章 附录一 25 3.1 错误提示与排查 25 3.2 输入输出定义 26 第4章 视觉操作说明 26 附录四：振镜高精度校正 36 附录五：打标软件说明书 37  前 言 欢迎使用上海费米激光科技有限公司生产的，使用前请务必仔细阅读本手册。 激光，全称为受激辐射光放大，英文全称为Light Amplification by Stimulate Emission of Radiation,简称为Laser。它是一种新光源，其所具有的相干性、单色性、方向性与高输出功率等特点，是其它光源所无法比拟的。 2. 通