并联谐振式电源在介质阻挡放电中的应用 - 中国电机工程学会.pdf

中国电机工程学会高压专委会2007 年学术年会论文集 并联谐振式电源在介质阻挡放电中的应用 马磊 李清泉 山东大学 摘要：并联谐振电源能有效克服高频时变压器寄生参数带来的影响，文中给出了并联谐振电路的拓扑，并对 电路进行分析，得到了一种可以利用变压器寄生参数构成并联谐振电路且能实现软通断的高效率电源。通过 搭建实验室电源，给出了并联谐振电源应用于介质阻挡放电的实验结果，指出下一步研制频率跟踪，实现自 谐振的目标。 关键词：并联谐振；高压高频电源；介质阻挡放电 1.引言 2.并联谐振电路的拓扑和原理 介质阻挡放电（DBD）是产生低温等离子 并联谐振式DBD 电源主电路原理图如图 体的有效方法[1,2,3，10]，近年来在臭氧发生器、 1所示，变压器的变比为n ，LK 为变压器漏 污水处理、烟气脱硫、高功率激光和工业材 电感，LM 为变压器励磁电感，CP 为变压器 料表面处理等领域应用[1,2,4] 日益广泛。通常 线圈寄生电容，CR ，R 并联作为负载等效电 DBD 装置的电源系统采用工频或中频，该形 [7] 路模型 。 [5] 式的电源体积大、噪声高、效率低 。随着 新型电力电子器件的出现和现代控制技术的 1:n 发展，具有噪声低、体积小等优点的高频脉 L K C R L 冲电源的研制成为热点。但高频化同时也给 Source M C R P 电路设计带来了一些困难：变压器的漏感随 着频率比例增大，而且降低变压器的漏感非 常困难，通常结构无法满足要求；变压器绕 图1 主电路原理图 组的分布电容也无法忽视，容抗随着频率比 例降低导致空载电流大，功率因数低。DBD 负载电路的参数在归算到变压器一次侧 的负载是一种非线性变化的容性负载，这也 时，需乘以变压器变比，得到的等效电容会 增加了电源设计时的难度。一种好的电源拓 较大。在电路开通瞬间，电路中将出现较大 扑必须综合考虑这些因素，通过采用谐振电 的电流脉冲 （漏感LK 通常较小），为解决此 源技术可以有效利用变压器不容忽视的寄生 问题需串联大电感限流，串联的电感又将降 参数，该电路可以有效减小噪声干扰，还可 低电路的谐振频率。综合考虑，采用电流源 实现软开关技术，从而减小高频时带来的开 作为能量源，保证电路中电流恒定，可防止 关损耗过大的危害。在[6]中，比较分析了串 电路出现瞬间短路。将变压器高压侧分布参 联谐振器，并联谐振电路和串并联谐振电路