logo

您所在位置网站首页 > 海量文档  > 专业论文 > 综合论文

耐高温合金薄膜压力传感器的设计+及仿真分析参考.pdf 2页

本文档一共被下载: ,您可全文免费在线阅读后下载本文档。

  • 支付并下载
  • 收藏该文档
  • 百度一下本文档
  • 修改文档简介
全屏预览

下载提示

1.本站不保证该用户上传的文档完整性,不预览、不比对内容而直接下载产生的反悔问题本站不予受理。
2.该文档所得收入(下载+内容+预览三)归上传者、原创者。
3.登录后可充值,立即自动返金币,充值渠道很便利
特别说明: 下载前务必先预览,自己验证一下是不是你要下载的文档。
  • 上传作者 小马过河(上传创作收益人)
  • 发布时间:2017-08-26
  • 需要金币100(10金币=人民币1元)
  • 浏览人气
  • 下载次数
  • 收藏次数
  • 文件大小:734.86 KB
下载过该文档的会员
你可能关注的文档:
机械工程师 MECHANICAL ENGINEER 耐 高 温 合 金 薄 膜 压 力 传 感 器 的 设 计 及 仿 真 分 析 谭苗苗 (北京联合大学机电学院,北京100020) 研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜 摘 要 : 为应变电阻的耐高温压力传感器。通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计。 关键词:高温压力传感器;合金薄膜;仿真 中图分类号:TP 391.7 文献标志码:A 文章编号:1002-2333(2017 )06-0033-02 Design and Simulation Analysis of High Temperature Alloy Thin Film Pressure Sensor TAN Miaomiao (College of Mechanical and Electrical Engineering, Beijing Union University, Beijing 100020, China ) Abstract : The development of high temperature pressure sensor has important practical significance. This paper designs a high temperature pressure sensor including sapphire elastic diaphragm and alloy film strain resistance. By using finite element software, the stress and strain distribution of the diaphragm is analyzed, and the thickness of diaphragm is optimized. Key words : high temperature pressure sensor; alloy film; simulation 0 引 言 陶瓷厚膜压力传感器和光纤压力传感器等。其中,合金薄 火箭发射时,发动机产生大量高温高压燃气流(温度 膜高温压力传感器的优点是结构紧凑、散热性好,克服了 通常在3000 K 左右)从火箭尾部喷管向外喷射,其燃气流 半导体压力传感器的热稳定性差,以及传统应变片压力测 尾焰对外产生的压力、温度、作用时间等,直接导致了火箭 量的灵敏度低及滞后蠕变的特点。 燃气流对发射装置以及环境产生更加严重的破坏。燃气流 合金薄膜压力传感器的结构、合金材料和弹性膜片材 环境下的压力测试数据对于发射装置研制至关重要。目前 料的性能是影响传感器高温压力检测性能的重要影响因 已提出的高温压力传感器结构包括多晶硅压力传感器、 素。本文根据弹性膜片材料压阻效应和高温性能,研究合 SOI 单晶硅压力传感器、SiC 压力传感器、SOS 蓝宝石上硅 金薄膜高温压力传感器的结构设计方案和工艺方案,实现 压力传感器、石英压力传感器、溅射合金薄膜压力传感器、 具有高灵敏度和温度补偿的合金薄膜压力传感器。 !!!!!!!!!!!!!!!! 1 压力传感器的结构及原理 基金项目:北京市优秀人才培养资助青年骨干个人项目 合金薄膜高温压力传感器的工作原理是基于金属的 (2014000020124G063) !!!!!!!!!!!!!!!!!

发表评论

请自觉遵守互联网相关的政策法规,严禁发布色情、暴力、反动的言论。
用户名: 验证码: 点击我更换图片

“原创力文档”前称为“文档投稿赚钱网”,本站为“文档C2C交易模式”,即用户上传的文档直接卖给(下载)用户,本站只是中间服务平台,本站所有文档下载所得的收益归上传人(含作者)所有【成交的100%(原创)】。原创力文档是网络服务平台方,若您的权利被侵害,侵权客服QQ:3005833200 电话:19940600175 欢迎举报,上传者QQ群:784321556