第四章 薄膜材料表征.pptVIP

第四章 薄膜材料的表征 ;薄膜研究的方法很多，它们分别被用来研究薄膜的结构、组分和物理性质。 研究结构的衍射方法包括X射线衍射、电子衍射、反射高能电子衍射、低能电子衍射、氦原子散射等。;蛰县兑措芋遥扑手跃抱晋犯酸单泞烫叔塌济脓男拾柄峻柿梁赃咙乱晕卡贵第四章 薄膜材料的表征第四章 薄膜材料的表征;观察显微图像的方法有：透射电子显微术、反射电子显微术、低能电子显微术，利用微电子束扫描而成的扫描电子显微术和1981年发明的扫描探针显微术。材料组分分析方法主要有电子束激发的X射线能谱、俄歇电子能谱、光电子能谱、二次离子质谱(SIMS)、离子束的卢瑟福背散射谱等。;;第一节 薄膜厚度的测量 ;表4.1 薄膜厚度测量方法 ;一、薄膜厚度的光学测量法;1．光的干涉条件;图4.1 薄膜对单色光的干涉条件;薄膜对单色光的干涉条件;干涉极小的条件;2．不透明薄膜厚度的测量 ;图4.2 等厚干涉条纹法测量薄膜厚度示意图 ;等厚干涉条纹法;等厚干涉条纹法;等色干涉条纹法;相邻两次干涉极大的条件为：;3．透明薄膜厚度的测量 ;透明薄膜厚度测量的干涉法;图4.3 透明薄膜对垂直入射的单色光的反射率随着薄膜的光学厚度的变化曲线;透明薄膜厚度测量的干涉法;变角度干涉法（VAMFO）;图4.4 变角度法测量透明薄膜厚度的装置示意图;等角反射干涉法（CARIS）;;;光偏振法（椭偏仪法）;椭圆偏振仪原理及应用;椭偏光谱仪的结构;薄膜测量的椭偏仪法;设备名称：NKD-7000W光学薄膜分析系统 (NKD－7000w System Spectrophotometer);二、薄膜厚度的机械测量法;2．台阶法;制备台阶的方法;第二节 薄膜结构的表征;一、扫描电子显微镜;图4.5 扫描电子显微镜的结构示意图 ;图4.6 扫描电子显微电子束与样品表面相互作用示意图;1．二次电子像;1．二次电子像;二次电子成像的特点;2．背反射电子像;2．背反射电子像;二、X射线衍射方法;X射线的衍射现象;图4.7 晶体产生X射线衍射的条件;晶体产生X射线衍射的条件;;解决薄膜衍射强度偏低问题的途径;四、 低能电子衍射和反射式高能电子衍射;图4.8 低能电子衍射（LEED）及反射式高能电子衍射（RHEED）方法的示意图 ;采取两种方法对薄膜的表面进行研究;图4.9 ??同薄膜生长模式对应的高能电子衍射示意图;五、 红外光谱分析;产生红外吸收的条件;六、 原子力显微镜分析;第三节 薄膜成分的分析;表4.2 各种薄膜成分分析方法的特点;一、 原子内电子激发相应的能量过程; (a) (b);由于内层电子能级与外层电子的状态关系不大，即上述跃迁过程发射出的X射线波长只与发射这一射线的原子种类有关，因而它可以被用来分析材料的组成，相应所使用的特定波长的X射线被称为特征X射线，这一物理过程是X射线能量色散谱分析成分的基础。 在上述过程中，K电子的激发也可以由具有相当能量的光子来实现。这时，相应电子跃迁过程发射出的特征X射线又被称为荧光X射线。;;二、 X射线光电子能谱;1．定性分析;2．化学位移;3．深剖分析; 三、俄歇电子能谱;典型的俄歇能谱仪的示意图 ;四、 Rutherford背散射技术;Rutherford散射模型及背散射能量谱; Rutherford背散射装置示意图