TEM平面样品制作经验总结.docxVIP

目录  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc287143217 一、前言  PAGEREF _Toc287143217 \h 1  HYPERLINK \l _Toc287143218 二、绪论  PAGEREF _Toc287143218 \h 1  HYPERLINK \l _Toc287143219 三、获得合适尺寸的样品  PAGEREF _Toc287143219 \h 1  HYPERLINK \l _Toc287143220 3.1 切  PAGEREF _Toc287143220 \h 1  HYPERLINK \l _Toc287143221 3.2 粘  PAGEREF _Toc287143221 \h 2  HYPERLINK \l _Toc287143222 四、机械磨  PAGEREF _Toc287143222 \h 2  HYPERLINK \l _Toc287143223 4.1 磨第一面  PAGEREF _Toc287143223 \h 3  HYPERLINK \l _Toc287143224 4.2 抛光  PAGEREF _Toc287143224 \h 3  HYPERLINK \l _Toc287143225 4.3 翻面  PAGEREF _Toc287143225 \h 4  HYPERLINK \l _Toc287143226 4.4 磨第二面  PAGEREF _Toc287143226 \h 4  HYPERLINK \l _Toc287143227 4.5 凹坑（钉薄）  PAGEREF _Toc287143227 \h 4  HYPERLINK \l _Toc287143228 五、离子减薄  PAGEREF _Toc287143228 \h 5  HYPERLINK \l _Toc287143229 5.1 粘环  PAGEREF _Toc287143229 \h 5  HYPERLINK \l _Toc287143230 5.2 固化  PAGEREF _Toc287143230 \h 6  HYPERLINK \l _Toc287143231 5.3 泡  PAGEREF _Toc287143231 \h 6  HYPERLINK \l _Toc287143232 5.4 离子减薄  PAGEREF _Toc287143232 \h 6  HYPERLINK \l _Toc287143233 六、结语  PAGEREF _Toc287143233 \h 6   PAGE \* MERGEFORMAT 7 TEM平面样品制作经验总结 一、前言 平面样品是电镜制样中比较基础的一种，如截面样品等都可在其基础上制作，因而在上学期学习电镜操作及电镜样品制备过程中，主要学习和练习平面样品的制作，我先后制作了大约三十个单晶硅平面样品，开始时大多没有制成，到后来成功率就高了，最后只要制备时小心些，就基本都能制成了。在此过程中，没少受到各位师兄师姐及实验室老师的帮助，也有自己一些经验教训，俗话说，好记性不如烂笔头，所以就想总结一下，以备日后不时之需。另外，需声明的是，这里所写多是实践所得或得于实验室各位前辈的，查书的较少，如有不恰当之处，还请不吝赐教。 二、绪论 根据自己经历和观察，个人认为，制备电镜样品时，一定要小心，宁可做得不好些，也不要因为过于追求完美而做废样品，毕竟需要用电镜观察的样品一般样品量很少，制备也不容易，而且你这一步做的很好，并不意味着下一步也能做的很好，甚至会给下一步带来麻烦，例如凹坑的最好情况应该是凹到将破未破那种程度，但这时样品很薄，极易碎裂，稍有不慎就前功尽弃了，还不如稍微厚些好。对于一个新手来讲，做出第一个样品的意义是非凡的，做出第一个之后，很快就会有第二个第三个，做得多了，手感来了，就成熟手了，自然就能做好了，因此，开始时应以做出样品为努力方向，做出之后再说做好。 我想TEM平面样品制备过程可大致分为三个部分：获得合适尺寸的样品、机械磨、离子减薄。以下就分别予以介绍。 三、获得合适尺寸的样品 因为物质对电子束的散射能力很强，因而电镜样品必须做得很薄才能让电子束穿过。而无论做平面样品还是截面样品，采用的方法都是在样品上搞出一个碗型的洞，洞的边缘其厚度是连续变化的，因而会有一部分既不厚也不薄，适合做电镜观察。这样我们需要的就是一个洞、边缘以及洞周围的支撑区域。样品做的太大是无用的，不仅浪费样品，