现代(s&a)(第四章 压电式执行器).ppt

压电振动执行器是一种微位移执行器，为了提高控制精度，要求高品质的控制电路来驱动压电微位移执行器，因此压电控制电路技术，已成为压电执行器的关键技术之一。 4.7压电振动执行器控制电路设计实例 1 控制电路的特点 压电微位移发生原理、结构形式决定了压电振动的控制电路应具备以下特点： （1）用于振动激励场合的压电叠堆执行器、压电双堆执行器等，其激励振幅度，激励频率，往往需要调节，要求控制电路具有幅值及频率连续可调的特性。 （2）压电振动执行器位移输出对外加控制电压的影响速度，主要取决于控制电路驱动电流的大小，控制电路应有足够的驱动能力。 （3）压电元件的输出位移是微米/纳米级，控制电路应具备良好的稳定性和精度，其波形失真度要小。 （4）为了实现振动幅值及频率的自动控制，控制电路应采用计算机控制。 2 自动控制电路组成及工作原理 压电振动执行器的自动控制电路方案有多种形式，现以研制的一种压电振动执行器自动控制电路为例，介绍自动控制电路的组成及工作原理，压电振动执行器的自动控制电路系统原理框图如图所示。它主要由80C51单片微机、接口电路、缓冲电路、隔离驱动电路、高压电源电路、功率放大电路、保护电路、传感与采样电路、键盘与数显电路组成。压电振动执行器的工作振动频率与振动振幅，是通过键盘输入，80C51单片机根据输入的工作参数，经过相应的运算处理，通过D/A转换，输出正弦压信号，再经过缓冲电路，光电隔离，低压功放，高压功放驱动压电振动执行器，执行器的振动频率为设定的工作频率。为了提高压电振动执行器的振幅精度，设置了反馈电路，即激振信号经过传感器拾取、中间转换、A/D转换后，送至80c51进行处理，自动调节压电振动执行器的振幅，使之达到要求。 4.8压电执行器的应用 1 校准用压电高频振动台 校准用压电高频振动台，应用于机械振动与冲击过程的测量。可以对加电加速度计进行频率响应的绝对法校准实验，并可以获得准确的谐振峰值。由于此振动台在高频段可以提供较大的加速度值，可将此正弦振动输入给加速度计，通过其输出值与在冲击测量时该加速度计所受到的脉冲形式的加速值进行比较。 1.高频振动台的结构与工作原理 高频振动台由机座、压电叠堆和台面组成，其结构如图所示。图中压电叠堆为驱动元件，压电叠堆是多片压电陶瓷片级联构成，压电陶瓷片的材料为PZT8、陶瓷片为圆片中孔薄片。台面材料为轻质的钛合金TA2，这使台面有足够大的运动振幅和较高的谐振频率。基座材料为比重和刚度都较大的硬质合金（钨钴15）。台面的重量为基座重量的1/15。 这样的结构形式，在压电叠堆上施加高频正高压电后，由压电叠堆的形变，使台面与基座之间作用一个交变力，结果使台面与基座的运动与它们的质量成反比。压电叠堆的工作原理与设计与4.3节所述相同。 2. 高频振动台的频率特性 图为高频振动台的幅频特性曲线，由特性曲线可以看出，在2KHZ—50KHZ频段内，有25HZ和35HZ两个谐振峰，其余频段均为稳定振幅，可以进行校准使用。 2 压电双晶执行器在光电开关中的应用 采用LiNbO 压电双晶片执行器做成的光电开关的结构如图所示。该图（a）中，当要求损耗低于1.5dB时,晶片因外加阶跃电压产生的振动必须在10ms内衰减到4 m以下，故在LiNbO 晶片的两侧面处装有制动器，并用软环氧树脂在晶片的表面上粘结轻的负载，该阻尼由于晶片碰到制动器产生的二次谐振。 两种LiNbO 压电双晶片执行器的电压—位移特性曲线。这两种执行器的实测位移值与计算值吻合，没有滞后现象。这种执行器驱动的光开关比普通反射镜光开关具有更短的开关时间和低损耗特点 3 压电叠堆执行器在显微镜自聚焦中的应用 压电叠堆执行器的结构如图所示。压电叠堆是由PMN型压电陶瓷片级联构成，陶瓷片是 5mm*0.33mm的园片，每一圆片的两面浅射金电极作为内电极。然后，采用叠层技术把30片陶瓷片叠成叠层体，不同极性的内电极分别联接到两个外电极上。执行器用不锈钢外壳封装，以改进稳定性和持久性。球面顶部是阻止产生不需要的弯曲应变。 压电叠堆执行器由0—500v电压驱动，其电压—位移特性如图所示。最大位移和位移的最大滞后量分别为50 m和5.2%。这种执行器的应变在100v（ 0.3kv/mm）下约为1.1×10-4 mm，在500V（ 1.5kv/mm）约为5.0×10 -4mm。 压电叠堆执行器控制工作台的结构如图所示。通过驱动两个执行彼此相对运动，使工作台相对于外加电压产生近似线性运动。位移的最大行程和最大滞后量分别为18.4 m和3.5%。 执行器驱动光学显微镜自聚焦系统的框图如图所示。显微镜装在执行器控制的工作台上。而执行器控制的工作台是固定在行程为50mm的步进电机的控制