压电效应传感器.docVIP

压电式传感器 压电式传感器是有源的双向机电传感器。它利用压电材料的压电效应实现信息转换。当压电材料表面受力作用变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 一、压电效应 某些物质，当沿着一定方向施加压力或拉力时，会发生形变，其内部就产生极化现象，同时，其外表面上产生极性相反的电荷；当外力拆掉后，又恢复到不带电的状态；当作用力方向反向时，电荷极性也相反；电荷量与外力大小成正比。这种现象叫正压电效应。如图1所示。 图1 （正）压电效应 反之，当对某些物质在极化方向上施加一定电场时，材料将产生机械形变，当外电场撤销时，形变也消失，这叫逆压电效应，也叫电致伸缩。压电效应的可逆性如图2所示。利用这一特性可实现机—电能量的相互转换。 图2 压电效应的可逆性 压电式传感器大都采用压电材料的正压电效应制成。大多数晶体都具有压电效应，而多数晶体的压电效应都十分微弱。随着对压电材料的深入研究，发现石英晶体和人造压电陶瓷是性能优良的压电材料。 1、石英晶体的压电效应 石英是硅石的一种，现在已能人工制造，它的化学成分是，其晶体单元的形状为六角锥体。如图3所示。 （a） （b） （c） 图3 石英晶体 石英晶体个方向的特性不同。为了便于研究，人们根据石英晶体的物理特性，在石英晶体内画出三种几何对称轴，连接两个锥顶点的一根轴叫光轴，它是晶体的对称轴，光线沿轴通过晶体时，不产生双折射现象，因而以它作为基准轴，也叫中性轴；连接晶体横截面中对角线的三条轴叫电轴，该轴的压电效应最为显著；横截面中与电轴相互垂直的三条轴叫机械轴，在此轴上加电场，产生机械形变最大，故也叫力轴。 若从晶体上沿方向切下一块如图3（c）所示的晶片，当在电轴方向施加作用力时，在与电轴垂直的平面上将产生电荷，其大小为 （1） 其中为方向受力时的压电系数，为作用力。 若在同一切片上，沿机械轴方向施加作用力，则仍在与轴垂直的平面上产生电荷，其大小为 （2） 其中为轴方向受力的压电系数，因为石英轴对称，故；、为晶体切片长度的和厚度。电荷和的符号由所受力的性质（拉力or压力）决定。的大小与晶片几何尺寸无关，而与晶片几何尺寸有关。图4为晶体切片在轴和轴方向受拉力和压力的具体情况。 （a） （b） （c） （d） 图4 晶体片上电荷极性与受力方向的关系 如果在片状压电晶体材料的两个电极面上加以交流电压，那么石英晶体片将产生机械振动，即晶体片在电极方向有伸长和缩短现象，这种电致伸缩现象即为逆压电效应。 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。在每个晶体单元中，有三个硅离子和六个氧离子，在垂直于轴的平面上的投影，等效为一个正六边形排列，如图5所示。“+”表示，“－”表示。 （a） （b） （c） 图5 石英晶体压电效应示意图 当不受外力时，正负六个离子（和）分布在正六边形的六个顶点上，形成三个120°夹角的电偶极矩。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 （3） 晶体表面不带电荷，呈电中性。如图5（a）所示。 当受到沿方向的压力作用时，晶体受压缩而产生形变，正负离子相对位置发生改变，此时键角也随之改变，电偶极矩减小，、增大，因此在方向上的电偶极矩不为零，，在轴正向的晶体表面上出现正电荷，反向表面出现负电荷。电偶极矩在轴方向上的分量都为零，因此无电荷出现。如图5（b）所示。 当受到沿轴方向的压力时，增大，、减小，因此在方向上的电偶极矩不为零，，在轴正向的晶体表面上出现负电荷，反向表面出现正电荷。电偶极矩在轴方向上的分量都为零，因此无电荷出现。如图5（c）所示。 如果受到沿轴方向的作用力，晶体中的硅离子和氧离子沿轴平移，因此电偶极矩矢量和等于零，表面沿轴方向受力时，并无压电效应。 2、压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是一种经过极化处理后的人工多晶铁电体。多晶是指它由无数细微的单晶组成，所谓铁电体是指它具有类似铁磁材料磁畴的电畴结构，每个单晶形成一单个电畴，这种自发极化的电畴在极化处理之前，个晶粒内的电畴按任意方向排列，自发极化的作用相互抵消，陶瓷的极化强度为零，因此，原始的压电陶瓷呈现各向同性而不具有压电性。为使其具有压电性，就必须在一定温度下做极化处理。 图6陶瓷极化过程示意图 图7 束缚电荷与自由电荷排列示意图 所谓极化处理，是指在一定温度下，以