喷雾热解法生长掺杂薄膜机理分析 - 无机材料学报.pdf

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 喷雾热解法生长 掺杂 薄膜机理 分析 , , , , , ‘ ‘ ‘ 云 , 赵 俊 亮 , 李 效 民 边 继 明 , 张灿 于 伟 东 高相 东 中 国科 学院 上 海硅 酸 盐 研 究 所 高性 能 陶 瓷 和 超 微 结 构 国 家重 点 实验 室 , 上 海 中 国科 学院研 究生 院 , 北 京 , 以 和 混 , 摘 要 通过超声 喷雾热解工艺 醋酸锌 醋酸钱 的 合水溶液为前驱溶液 在单 晶 一 一 、 、 衬底 上 制备 了 掺杂 薄膜 , 采用热质联 用分析 射 线衍 射 一 场发射扫描 电镜 和 霍耳效应 测试等手段研 究 了喷雾热解工 艺下