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2017-08-21 发布于上海
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azo透明导电薄膜的结构与光电性能 structural and optical electrical properties of transparent conductive azo thin films.pdf

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azo透明导电薄膜的结构与光电性能 structural and optical electrical properties of transparent conductive azo thin films

第26卷第1期电子元件与材料 v01．26No．1 2007年1月 ELECTRONICCOMPoNENTSANDⅣ【ATERL～LS Jan．2007 AZo透明导电薄膜的结构与光电性能李金丽，邓宏，刘财坤 0054) (电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都61 摘要：采用射频溅射工艺制备了zn】ol，o透明导电薄膜。通过xRD、uv透射和电学性能测试等分析手段，研究了Al浓度对薄膜的组织结构和光电性能的影响规律。结果表明：薄膜具有c轴择优取向，随着Al浓度的增加，(002) 随着掺杂量工(A1)从。增加到20％，薄膜的禁带宽度从3．34ev增加到4．oeV。关键词：无机非金属材料；Azo薄膜；组织结构；光电性能中图分类号：0484．4 文献标识码：A 文章编号：1001．2028(2007)01．0043．03 Structuraland eIectrical of optical propertiestranspaIIent thin conductiveAZofilms LI Cai-kun Jin-li，DENG Hong，LIU ofMicmelectmnicsandSolidState ofElectronicScienceand 610054， (School Electmnic，University Techn0109y，Chengdu Chjna) RF filmswerefabricatedonSisubstratesand substrates Zn0(AZ0)thin quart by sputtering．The Abstract：Al-doped of thinfilmswere ef艳ctrsofAlcontenton andelectrical AZO XRD，UV stmctural，opticalpropemes investigatedby transmissionandmeasurementofelectrical isfoundmattheAZ0thinfilmshavea c-axisorientation pmprties．It preferential when increaseofAl of isshiftedtothe 15％(molefraction)．With concentration，the x(A1)below peakpositionthe(002)plane 2毋value。Aminimum of3．4×10_4Q·cmjsobtainedforfi】m with2％A1．The from3．34 hj曲er