SCHMID制绒工艺说明.doc

ZDGF 工艺说明 名称 晶体硅太阳电池 编 号 SCHMID制绒 图号 ZDGF200.001.1GGS 目的 经过SCHMID制绒后，在硅片表面形成特殊绒面，从而减少光在其表面的反射。 原理 在酸溶液腐蚀条件下，硅片表面形成多空状绒面构造，反应方程式： Si+HNO3+H2O→SiO2+NO↑+NO2↑ SiO2+HF→H2SiF6+H2O 范围 适用于SCHMID制绒工艺。 责任 所有操作人员都必须严格按照本文件规定的程序进行操作； 在操作过程中遇到问题应及时向主管工程师报告，主管工程师及时提供帮助。 操作规程 开机 检查冷却水、电、气压缩空气，化学品（包括HF ，HNO3， HCl，OH）是否供应正常； 开机，打开主电源开关；按开关旁边的“control on”键，然后长按“reset”键三秒； 登录，点击屏幕下方的“user”，输入帐号和密码，点击“Log-in”； 输入相关工艺文件。点击进入“recipe”选择相应的工艺文件后，双击，弹出对话框点“OK”； 点击屏幕下方的“start”键，机器开始运行 关机 先确定设备内有没有硅片，待所有硅片出来后才能进行关机操作； 点击屏幕下方的“stop”； 检查设备门位置，调整好； 点击下方的“user”，一个视窗会跳出； 点击“Log-out”，设备门将被锁上； 点击电气柜上的红色按钮，关掉主电源开关。 旧底图总号 底图总号 拟 制 中电电气 （南京） 光伏有限公司 审 核 日期 签名 标准化 第 1 页 共 10 页 更改标记 数量 更改单号 签 名 日 期 批 准 描图： 描校： ZDGF 工艺说明 名称 晶体硅太阳电池 编 号 SCHMID制绒 图号 ZDGF200.001.1GGS 生产工艺流程： 1 仓库来料接收 2 装片 3 传递过程 4 制绒槽 SCHMID制绒设备 5 水洗槽 6 碱洗槽 7 水洗槽 8 酸洗槽 9 水洗槽 10 吹干槽 11 传递至扩散 生产操作指导 领料接收 硅片由物料员领入车间后，由当班制绒工段长当场确认材料的数量，厂家，批次，规格。并在领料记录上签字确认； 根据材料的数量，厂家，批次，规格的不同进行分类堆放，叠放不得超过3层。 拆箱封箱 拆箱 插片员配戴PVC手套，打开纸箱将装有硅片的泡沫盒搬到固定的操作台上，如果有预投片则优先拆开； 打开泡沫盒移去缓冲底板，换戴PE手套，将盒内的硅片叠放整齐； 分批送到上料操作台上，整齐的摆放好以利于上料投片。 封箱 装完一箱硅片后，用胶带将空箱封好，填写封箱标签（硅片的批次，当班班次，封箱人员姓名和封箱时间），贴于空箱的正表面处，将空箱放在空箱堆放处。 上料戴好防护口罩和手套，手套要戴2层里面布手套外面P手套每次投完一批（400片）要更换一次手套。（保持手套的清洁，一脏污立即更换）从拆封的硅片盒中拿出不多于30片，用一只手拿着另一只手将其一片一片搓开并依次投放在的滚轴上。要从进料滚轴的边缘投放，投放时要轻而慢，以不发出声音为宜。硅片的边沿要与滚轴边平行或垂直前后硅片间距 cm以上； 每批为400片每投完一批下一批投放时上一批保持一段较大的距离（50cm左右）检查 旧底图总号 底图总号 拟 制 中电电气 （南京） 光伏有限公司 审 核 日期 签名 标准化 第 2 页 共 10 页 更改标记 数量 更改单号 签 名 日 期 批 准 描图： 描校： ZDGF 工艺说明 名称 晶体硅太阳电池 编 号 SCHMID制绒 图号 ZDGF200.001.1GGS 在设备的出料口片子出来的时候要抽样观察硅片正面和背面（背面须用手拿起来观察）。正常的硅片表面呈暗黑色，如发现有黄片、污点和液体等异常现象需将这些异常硅片挑出来并立刻报告在班工艺人员处理每隔时取5片硅片分别称重，记录到电脑软件中然后分别投到5个传送道并与其他硅片前后留出约10cm间距。等这5片从出料口出来时再称重并记录到电脑软件中，出料在出料口放置有五个盒子，位置一定要放好要保证从出料口出来的硅片能自动滑落到这五个盒子中每生产完一批后要将这五个盒子中的硅片平均放置于两个空盒子中（保持扩散正面朝下）。并及时将空的盒子正确