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双层辉光离子渗金属技术特点 高 原 ，徐晋勇 ，高 清 ，安晋平 ，徐 重 (1．桂林电子工业学院信息材料科学与工程系，桂林 541004；2．太原理工大学表面工程研究所，太原 030024) [摘要]分析了双层辉光技术的特点，指出该技术在材料表面合金化方面，是一项适合于高熔点金属表面合 金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属材料进行表面合金化的工艺技术。 [关键词]双层辉光离子渗金属技术；高熔点金属；空心阴极效应；阴极溅射；扩散 [中图分类号]TG156 [文献标识码] A [文章编号] 1009—1742(2008)02一OO26—05 量差。渗金属粉末渗剂利用率低，造成较大的资源 1 前言 浪费。渗剂成分配比不易掌握，渗层成分控制困难； 材料表面合金化技术 J主要包括化学热处理， 液体渗金属有较严重的环境污染，电力资源浪费大， 如采用固体、液体或气体进行的渗碳、渗氮、渗硫、渗 大工件处理受设备限制；气体渗金属，须制备含有欲 金属等以及等离子化学热处理，如等离子渗碳、等离 渗金属元素的卤化物气体的反应罐，增加设备成本， 子渗氮、双层辉光离子渗金属等。等离子化学热处 且含金属元素的卤化物气体对设备和环境有较大污 理是最近几十年才发展起来的一门新兴技术 2]。双 染。长期以来，表面合金化中提供欲渗金属元素活 层辉光离子渗金属技术 3]属于等离子化学热处理的 性原子、环境污染、渗入速度慢以及渗金属层成分可 范畴，是我国学者发明的自主创新的等离子表面改 控性等问题，成为制约上述几种工艺技术发展的主 性技术。该技术是在离子氮化的基础上发展起来 要原因。 的，将只适合于进行非金属元素渗入的表面技术扩 在固体、液体、气体渗金属的机理中，提供欲渗 展为包括可进行非金属及金属元素单元或多元共渗 金属活性原子的方法基本相同，都是采用比欲渗合 的领域技术，拓宽了等离子表面合金化技术的应用 金元素更加活泼的元素，从含有欲渗合金元素的化 范围。文章详细介绍了双层辉光离子渗金属技术的 合物中将其置换出来。这些方法属于化学反应，有 基本原理、放电模式、渗金属机理和主要研究工作。 些对环境产生污染，有些方法比较复杂。因此如何 通过对该技术的特点分析，认为该技术在材料表面 解决渗金属时欲渗金属活性原子的供给，一直是材 合金化方面，是一项适合于高熔点金属表面合金化 料表面合金化工作者研究的一个重要课题。 和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金 20世纪、8O年代，由我国学者发明的具有自主 属进行表面合金化的工艺技术。 知识产权的双层辉光离子渗金属，能够提供来源方 便、可靠、无污染、活性强的欲渗合金元素，将仅能进 2 双层辉光离子渗金属技术原理 行非金属元素渗入的离子氮化技术，拓宽成为能进 目前化学热处理中，材料表面合金化技术主要 行所有金属元素、非金属元素渗入的等离子渗金属 采用的工艺方法有固体、液体和气体法，它们均存在 技术，开创了等离子表面冶金的新领域 J。 着一些问题 。对于尺寸较大的工件，采用固体渗 双层辉光离子渗金属的基本原理，是在真空容 金属的方法容易受到设备限制，工件表面易粘结，质 器内设置阳极、阴极(放置被渗工件)和源极(欲渗金 [收稿日期]2005—10—14 [基金项目] 国家自然科学基金上海宝钢集团公司资助项目；国家