三点式氧碘化学激光器光腔准直技术 three-point collimation technology of coil resonator.pdfVIP

第19卷第11期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．19，No．11 2007年11月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS NOV．，2007 文章编号： 1001—4322(2007)11—1812—05 三点式氧碘化学激光器光腔准直技术。 熊木地1， 贾思楠1， 张增宝2，邹晓杰1 (1．大连海事大学信息工程学院，辽宁大连116026l2．中国科学院大连化学物理研究所，辽宁大连116023) 摘要： 提出三点式动态准直法，并以此设计具有自动校准功能的光腔自准直系统，提高了氧碘化学激 光器的光束质量。该系统采用位置传感器作为光束位置检测元件，压电陶瓷作为动态调整元件，建立三输入三 输出的耦合模型，利用多变量自适应闭环解耦控制法，实现准直系统的高速动态调整。实现了光腔准直，提高了 光束质量。经初步实验验证，该系统准直范围可达4mrad，耪度为5 Hz，满足氧碘化学激 prad