微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计.docx

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微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计

Ξ微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计3张红霞33,张以谟,井文才,周革,李朝辉(天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300072)摘要:提出了实用的Mirau干涉头结构,降低了制作工艺要求。物镜为长工作距物镜,由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成。设计了5种不同透射/反射率的分束板,平衡了干涉光强。Mirau干涉物镜的NA=0.3,β=-10,工作距5mm,横向分辨率Δx≥0.887μm,景深Δ=±2.956μm。关键词:Mirau干涉物镜;长工作距物镜;像差校正;光强平衡中图分类号:TH74文献标识码:A文章编号:100520086(2003)1221292204OptimizedDesignofMirauInterferenceObjectiveinMicrosurfaceTopographyMeasurementZHANGHong2xia33,ZHANGYi2mo,JINGWen2cai,ZHOUGe,LIZhao2hui(CollegeofPrecisionInstrument&Opto2electronicsEngineering,KeyLaboratoryofOpto2electronicInforma2tionTechnicalScience,EMC,TianjinUniversity,Tianjin300072,China)Abstract:PracticalMirauinterferenceheadstructurewasdevelopedtoreducefabricationrequirements.Alongworking2distanceobjectivewasdesignedwhichconsistsofalargerpositivepowerlensandasmallernegativepowerlens.Theintensityoftheinterferencepatternwasbalancedusingbeamsplitterswithdiffer2enttransmission/reflectionratio.TheparametersoftheMirauinterferenceobjectiveareasfollows:numeri2calapertureNA=0.3,themagnificationβ=-10,workingdistance5mm,lateralresolutionΔx≥0.887μmanddepthoffieldΔ=±2.956μm.Keywords:Mirauinterferenceobjective;longworking2distanceobjective;aberrationcorrecting;intensitybalancing2no提出的分束板是80nm厚的Si3N4薄膜,参考面是在Si3N4薄膜上沉积的Pt圆盘,但这种结构的制作工艺要求高。本文对Mirau干涉物镜进行整体优化设计,提出了实用的Mirau干涉头结构,降低了制作工艺要求,Mirau干涉头引起的像差用后面的物镜补偿,并且设计了5种不同透射/反射率的分束板平衡了干涉光强。1引言分光路干涉的Michelson、Mirau和Linnik13种形式中,Mirau干涉以抗干扰能力强、结构紧凑而得到了广泛的应用。S.S.C.Chim和G.S.Kino等2~5对Mirau干涉的发展作出了巨大的贡献,发展了Mi2rau干涉仪。Mirau干涉仪再加上相移技术6~7能够进行微表面形貌检测8,9。第一个提出Mirau干涉的是法国的A.H.Mi2rau10,这时的参考面是透镜前表面上的金属沉积,一般很难保证其是平面。分束板和补偿板之间是析光膜,则分束面恰在透镜工作距的1/2处。为了减小Mirau干涉头引起的像差,S.S.C.Chim和G.S.Ki2,就Mirau干涉成像系统Mirau干涉仪加上压电陶瓷传感器(PZT,piezo2electrictransducer)作相移,就能够进行微表面形貌检测。其中的Mirau干涉成像系统如图1所示,被测面和参考面经过干涉物镜和辅助透镜,形成的干涉条纹2Ξ收稿日期:2003204223修订日期:20032062163基金项目:天津市“131”人才工程第一层次人选资助项目;天津市自然科学基金资助项目(023602411)33E2mail:zhanghongxia@twtmail.tju.cn·1293·第12期张红霞等:微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计用CCD接收。系统包括Mirau干涉物镜、辅助透镜、PZT和CCD。因为PZT带动干涉物镜移动时,干涉系统仍应产生清晰的、对比度好的干涉条纹,即干涉物镜的移动对光学系统

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