《传感与检测技术》半导体传感器课件.ppt

2 常用半导体湿敏电阻 （1）烧结型半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏传感器结构及等效电路示意图 图8.14 烧结型半导体陶瓷湿敏元件结构 感湿体：MgCr2O4-TiO2 多孔陶瓷 （2）涂覆膜型Fe3O4湿敏元件 ,由金属氧化 物微粒经过堆积、粘结而成的材料; （3）ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件，其结构是将多孔材料的电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上，并焊上铂引线，然后将敏感元件装在有网眼过滤的方形塑料盒中并用树脂固定。 8.3 磁敏传感器 8.3.1 磁阻传感器 表达式为: １、磁阻效应 ρB—磁感应强度为B时的电阻率； ρ０—B=0时的电阻率； μ—电子迁移率； B — 磁感应强度。 　包括：霍尔元件、磁阻元件、磁敏二极管、磁敏三极管等。 　　半导体材料的电阻率随外加磁场而变化的现象。 电阻率的相对变化为： 磁感应强度从0变化至B后，电阻率的变化量为： 可见：磁场一定，迁移率越高的材料其磁阻效应越明显。 2、磁敏电阻的形状 L、b—分别为电阻的长度和宽度； —形状效应函数 磁阻效应的大小除了与材料有关外，还与磁敏电阻的几何形状有关。 若考虑几何形状的影响，则电阻率的相对变化可近似用下式表示： 常见的磁敏电阻是圆盘形的，如图8.15. 图8.16为磁阻率与磁感应强度及几何形状的关系 3、磁敏电阻特性 在低磁场范围内，其电阻值与磁场强度的平方成正比关系；在高磁场范围内，其电阻值与磁场强度成线性关系。 1 结构 磁敏二极管(SMD)的结构 8.3.2 磁敏二极管 　　在高阻半导体芯片（本征区I）的两端，分别制作P、N两个电极，形成P-I-N结。 2 工作原理 图8.19 磁敏二极管工作原理 （a）图a未加磁场时，如果外加正偏压，则： ● 同时应有大量电子注入P区，形成电流； ● 只有少量电子和孔穴在I区复合。 ● 有大量的空穴从P区通过I 区进入N区； 图8.19 磁敏二极管工作原理 ● 电子和空穴向r区偏转，在r区电子和空穴复合的速度 很快，它们将因复合而消失； （b） 图b，当受到正向磁场作用时，电子和空穴都受到 洛仑兹力的作用而偏转。 ● 结果：电流减小，电阻增加。 图8.19 磁敏二极管工作原理 （c）图c当受到负向磁场作用时，电子和空穴则向另 一面偏转 ● 此时它们的复合率变小，可使电流增大，电阻减小。 以上分析可知：根据电流大小可测磁场的方向和强度。 3 磁敏二极管的主要特性 (1)磁电特性 在给定条件下，磁敏二极管输出的电压变化与外加磁场的关系 。 图8.21 硅磁敏二极管输出电压与B的关系 (2) 伏安特性 磁敏二极管正向偏压与通过其电流的关系 (3) 灵敏度 U0—磁感应强度为零时，磁敏二极管两端的电压; UB—磁感应强度为B时，磁敏二极管两端的电压 在恒流源偏置下，磁敏二极管的输出电压随磁感应强度B变化而产生的相对变化定义为电压相对灵敏度KL (4) 温度特性 图8.22 硅磁敏二极管输出电压的温度特性 在标准测试条件下，输出电压随温度变化的特性。 磁敏二极管特点 1)灵敏度高。 2)具有正反向磁灵敏度,这是磁阻器件所不具备的 3)在较小电流下工作时，仍有很高的灵敏度. 4)它的缺点是灵敏度与磁场呈线性关系的范围窄。 8.3.3 磁敏三极管 磁敏三极管分两种: 3BCM型锗磁敏三极管, 3CCM型硅磁敏三极管 磁敏晶体管的放大系数是随着磁场方向变化的； 而且具有正反向不同的磁灵敏度。 第8章 半导体传感器 8.1 气敏传感器* 8.2 湿敏传感器* 8.3 磁敏传感器* 8.4 色敏传感器 8.5 半导体传感器的应用 １、气敏传感器概念及组成 　气敏传感器---测定气体的类别、浓度和特定成分，并 将其转换为电信号的器件。 　主要类型--- 电阻式半导体气体传感器、电容式陶瓷气　 　　体传感器、电化学气体传感器等。 8.1.1 半导体气敏传感器概述 　主要组成---敏感、识别与信号放大处理 。 8.1 气敏传感器 （２）按结构分类 干式传感器----使用时必须加热，使电介质和催化剂长期 处于高温状态。往往会导致性能劣化。 湿式传感器----电极表面浸入电解液中，根据