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真空热处理工艺设备日常维护摘要：根据企业发展的现状，行业发展的特点。分析了真空熔铸及热处理工艺设备在使用易发的几个问题，介绍了真空熔铸及热处理工艺设备在本企业的成熟应用。提出了保障真空熔铸及热处理工艺设备的方法及提高设备可靠使用的前景方案。为企业在此工艺生产制造领域，提出了积极的改进方向和建议。 关键词：日常维护 扩散泵 旋片泵 返油量 真空 1、引言 我们在真空熔铸及热处理工艺设备使用与日常维护方面做了一定的工作，同时取得了一定的成绩，但仍不能满足企业的快速发展需求，怎样加强真空熔铸及热处理工艺设备的日常维护，提高设备的使用效率，是我们不断进行探讨研究的课题. 2、日常维护与保养 我们在日常工作中，要求真空设备必须保证完好的工作状态。保证每班产，达到定质定量，保证下一道工艺流水的正常进行。这就要求设备维护及设备管理部门，做好真空设备的保障工作。 2﹒1旋片泵的运行和维护 2﹒1﹒1油的返流的维护 在旋片泵工作时，油蒸气会逆着气流运动方向进入泵入口，通过入口管路最终进入被抽容器。油蒸气的返流量随压力的降低而增加，在极限压力附近时，返流量最大。返流油蒸气主要由泵油中最轻的馏分组成。 油的返流会污染真空室，影响最终产品的质量，必须加以控制。防止油返流的措施主要有： .在泵入口管道上设置放气阀，使入口压力维持在10Pa或更高，这样可以减小返流98%。 .对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀就能很好地防止油的返流。 .在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流蒸气。粒状活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸气。这种吸附阱需定期更换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。 .使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小，但由于价格较贵，因此影响到它的广泛使用。 2﹒1﹒2泵油的过滤和更换 为防止泵油中的粉尘、颗粒物质随泵油一起进入泵腔，在泵运转过程中应设有连续过滤装置。过滤器与泵之间由同轴套管连接。当泵转动时，泵油靠大气与泵腔内的压差或独立的油泵经外管进入过滤器，过滤后的油经内管进入泵的循环油路中。过滤器内的过滤芯在油经过时当住了机械污染物，净化了泵油。过滤器上常常联上压力表以显示过滤器是否堵塞。当压力增加，油不能正常流动时，即为过滤器堵塞，应更换或清洗过滤芯。 现代旋片泵很少需要经常维护，主要注意油量、油的颜色和状态。一般每周检查一次油量。泵在高的入口压力或在气镇条件下工作时，每天都要检查油量，因为在此条件下工作，泵油的损失是比较严重的。 换油的时间间隔依工作条件而定。一般因润滑不良、油分解或污染物太多使泵极限压力上升时，就需要更换油了。 2﹒2扩散泵返油及减少返油的措施 扩散泵的工作介子是扩散泵油，工作中总会有部分油蒸气返流到高真空侧，影响泵的极限真空，并且会对被抽容器造成污染。扩散泵油的返流量与泵油的特性以及扩散泵的结构有关。 2﹒2﹒1扩散泵油的特性 对扩散泵油的要求有4点：1、分子量大；2、常温下饱和蒸汽压低；3、沸腾温度下饱和蒸汽压较高，以获得较高的出口压力；4、热稳定性、抗氧化性好，凝固点、低温黏度低，无毒，无腐蚀性，价格低廉。 2﹒2﹒2扩散泵油的饱和蒸汽压。扩散泵油的饱和蒸汽压与温度有关。 2﹒2﹒3泵油的返流及减少返流的措施： 1、凝结于顶喷嘴表面上油膜的蒸发，占整个反油量的70%左右；2、泵壁上凝结油膜的蒸发与泵壁的冷却情况有关；3、蒸汽射流碰撞泵壁后的散射，与射流的强度有关；4、蒸汽射流中油分子向高真空侧的扩散，与射流的温度有关。 为减少泵油的返油量，应针对上述返油源采取相应措施：1、在顶喷嘴上加挡油帽，挡油帽可以大大减少顶喷嘴表面油膜的蒸发返油量，并对泵的抽速影响不大。已成为现代扩散泵的必备部件；2、在泵入口紧贴泵壁处加挡油环，加挡油环可以减少泵壁凝结油膜的蒸发返油量；3、调节锅炉加热功率。通过加热功率的调节来获得合理的蒸汽射流强度和射流温度，可以减少返油量。 为减少油蒸汽向泵出口前级真空侧迁移，可在喷射级之后装置水冷冷凝器。冷凝器由一组有孔和无孔铜质圆盘组成，相间安装在水冷支架上。在泵启动和关闭阶段，各级喷嘴的蒸汽射流不稳定，此时要关闭泵与真空室间的阀门，防止油蒸汽向被抽容器中返流。 3、日常维护的发展方向 日常维护的发展，是依据真空熔铸及热处理设备技术发展而决定。近年来，我国真空熔铸及热处理设备技术快速发展，日新月异。随着近代超高真空技术的飞速发展，以及相关科学技术的进步，真空熔铸及热处理设备的技术越趋成熟。 在日常维护与保养的过程中，除了要注意操作规程、日常维护与保养外，还应注意新技术、环境卫生、设备的工业卫生、新材料、新工艺的应用。特别要引起高度关注的是；真空系统理论的研究，及相关学科的学习和借鉴，来提高日常维