基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统-张青川-中国科学技术.PDF

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2017-09-04 发布于天津
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基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统-张青川-中国科学技术

基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统 ! ! ! 7 7 7 7 王玮冰 !叶甜春 !陈大鹏 !伍小平 !张青川 !潘亮 !段志辉 # 中国科学院微电子中心!北京 # !. !7‘ 中国科学技术大学力学与机械工程系!合肥 $ 7. 77$ % %’()*UTU(, !’-33(Q.1-.(3.3, I 摘要!报道了一种利用技术制备!基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外焦平面阵列 $ ?%?4 V; 并配有可见光读出部分的红外成像系统!可以在 # !B ’ 光谱区得到成像基于该结构的非制冷 # 红外成像系统利用的是光力学效应原理我们采用 ?%?4表面硅工艺制备 V;!深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理!工艺制备难点和响应结果关键词! #光力学#焦平面阵列#双材料悬臂梁 ?%?4 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ % @57! @P$ ; !C$!B$$C7 $#BB # # ’7’,((+*50’8343*50-40’ //1*- 24/*5(’20=-41*304+,4’10+*)*3 0H*+/ 6 6 . ! ! ! J;5L J-)T), !N%@)(,3G1, !9P%5 X(-, ! I / I 7 7 7 7 JK E)(+), !FP;5L i), 3G1(, ! V;5 b)(, ! XK;5 FG)G1) / I I I ! ! ! # !C!-0%.1.0,%*-0+NJE :.*,.% :;-*.+.P0I.B #0-.*0.+ 8.--* !7‘ :;-* 7 / 9 4 ! ! $ 7C5*-6.%+-, #0-.*0.*IF.0;*1 :;-* U..-77$ :;-*