多弧离子镀tin涂层的n2ar流量参数研究 study on n2ar flow parameters of tin coating deposited by multi-arc ion plating.pdfVIP

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2017-09-04 发布于上海
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多弧离子镀tin涂层的n2ar流量参数研究 study on n2ar flow parameters of tin coating deposited by multi-arc ion plating.pdf

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多弧离子镀tin涂层的n2ar流量参数研究 study on n2ar flow parameters of tin coating deposited by multi-arc ion plating

第 26 卷第3 期粉末冶金工业 Vol. 26 ，No.3，p44-48 2016 年 6 月 POWDER METALLURGY INDUSTRY Jun. 2016 DOI ：10.13228/j.boyuan.issn 1006-6543 多弧离子镀TiN 涂层的N /Ar 流量参数研究 2 陈昌浩，金永中，陈建，蔡瑜，余学金，龙国俊（四川理工学院材料科学与工程学院，四川自贡643000）摘要：利用多弧离子镀在硬质合金基体上制备TiN 涂层，研究了N /Ar 流量比对TiN 涂层表面大颗粒分布与力学 2 性能的影响。通过扫描电镜观察TiN 涂层的表面形貌，并利用ImageJ 图像处理软件对大颗粒的数量和尺寸进行了分析，通过自动划痕仪和纳米压痕仪对涂层的力学性能进行表征。结果表明：随着N 流量的增加，涂层表面沉积 2 颗粒的最大直径和平均直径逐渐减小，涂层的附着力整体呈现增加趋势，显微硬度则先增大后减小。关键词：多弧离子镀；TiN 涂层；N /Ar 流量比；大颗粒；力学性能 2 文献标志码：A 文章编号：1006-6543-(2016)03-0044-05 Study on N /Ar flow parameters of TiN coating deposited by multi-arc ion plating 2 CHEN Chang-hao ，JIN Yong-zhong ，CHEN Jian ，CAI Yu ，YU Xue-jin ，LONG Guo-jun (Department of Materials Science and Engineering ，Sichuan University of Science and Engineering ，Zigong 643000 ， China) Abstract ：TiN coating was deposited on the surface of cemented carbide substrate by multi-arc ion plating. The influ- ence of N /Ar flow rate on the distribution of microparticles (MPs) and mechanical properties of TiN coating was stud- 2 ied. The surface morphologies of TiN film were observed by scanning electron microscope. The amount and size of MPs were analyzed by ImageJ software. Scratch spectrometer and nanoindenter were used to evaluate mechanical