多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术 management of chemical cleaning of equipment pipe in polysilicon project.pdfVIP

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2017-09-04 发布于上海
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多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术 management of chemical cleaning of equipment pipe in polysilicon project.pdf

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多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术 management of chemical cleaning of equipment pipe in polysilicon project

第43卷第2期有色金属设计 V01．43No．2 2016年6月 NonferrousMetals Jun．2016 Design 多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术迟学富，周树兴 (云南金吉安建设咨询监理有限公司，云南昆明650000) 摘要：多晶硅生产对物料管道及生产设备的清洁要求很高，要达到无水、无油、无尘。由于多晶硅生产工艺过程复杂，为保证正常生产，建设过程中物料管道、设备的清洁度尤为重要，清洗工作量大、控制点多、工作面广，在过程管控中要达到要求，确保洁净度达到预期效果，管理方法和措施是实现预期效果的有力保障。笔者根据项目实践，总结出一套行之有效的管理、检验和过程控制方法，为提高多晶硅项目设备、管道化学清洗的管理提供借鉴。关键词：化学清洗；设备清洗；管道清洗；设备管理；多晶硅生产中图分类号：TGl78文献标识码：B 文章编号：1004-2660(2016)02-0057-05 ofChemical of in Management CleaningEquipmentPipePolysiliconProject CHl Xuefu．ZHOU Shuxing (Yunnan JinjianConstruction，ConsultationSupervisionCo．Ltd．，Kunming650000，China) levelof is in intheabsenceof and Abstract：Highequipmentcleaningrequiredpolysiliconproduction water，oil dust．Duetothe of and is to complexproductionprocess，thequalifiedcleaningpipesequipmentverysignificant the characterizedof andextensive guaranteeproduction byplentycleaning，numerousmonitoringpoints working faces．Inordertomeetthe and are methodsmeasuresnecessa— cleaningrequirements，appropriatemanagement ontheir authorssummarizedaneffectivemethodfor andcontrol- ry．Based experience，the management，testing asreferencefor the ofchemical of and in ling，serving improvingmanagement cleaningequipmentpipespolysili· con projects． words：chemical Key