多晶硅氢化炉热场部件革新 the innovation of thermal components for polysilicons hydrogenation furnace.pdfVIP

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2017-09-04 发布于上海
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多晶硅氢化炉热场部件革新 the innovation of thermal components for polysilicons hydrogenation furnace.pdf

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多晶硅氢化炉热场部件革新 the innovation of thermal components for polysilicons hydrogenation furnace

2016年8月云南冶金 Aug．2016 YUNNANM卧UmRGY VoL 第45卷第4期(总第259期) 45．No．4(Sura259) 多晶硅氢化炉热场部件革新+ 罗平1”，蔡永明1，顾国宝1”，刘阳赞12 (1．昆明冶研新材料股份有限公司，云南昆明650031； 2．云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室，云南曲靖655011) 摘要：多晶硅氢化炉热场部件是影响氢化炉稳定运行的关键因素，通过分析研究原有热场材料存在的缺陷，改进热场结构及材质，以提升热场部件使用寿命，确保氢化炉的稳定运行。关键词：多晶硅；氢化炉；保温罩；加热体中图分类号：TF066文献标识码：A 文章编号：1006-0308(2016)04--0051-04 TheInnovationofThermal for nllrnace Components Polysilicon’SHydrogenation LUO Guo—ba01一，LIU Pin91”，CAIYong—min91，GU Yang—gaBl’2 New—Material 65003 (1．KunmingYeyan Co．，Ltd．，Kunming，Yunnan1，China； 2．YunnanProvince Labof SiliconMaterials KeyEnterpriseOptoelectronic PreparationTechnology， 65501 1，China) Qujing，Yunnan factorforthestable of ABSTRACT：Thethermal of fin岫isthecriticalinfluence componentspolysilieonshydrogenation operation thermalstlmctureandmaterialis On defectsofthethermal furnace，the material，∞that hydrogenation impmvedthmushanalysisthe目js6ng thelife ofthethermalare and well日sthestable of furnsce． the cycle partsimpmvedguaranteed．a8 operationhydrogenation KEY furmtco；heat unit WORDS：polysiIicon；hydrogenationcover；heating 炉热场优化的