多晶硅用fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究 preparation and property research on porous fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry.pdfVIP

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2017-09-04 发布于上海
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多晶硅用fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究 preparation and property research on porous fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry.pdf

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多晶硅用fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究 preparation and property research on porous fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry

第34卷第2期粉末冶金技术 V01．34，No．2 MetallurgyTechnology Apr．2016 2016年4月Powder 多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究杨坤～汤慧萍王建李烨杨保军陈金妹石英 (西北有色金属研究院金属多孑L材料国家重点实验室，西安710016) 摘要：为满足多晶硅行业生产中高温含尘气体过滤的需求，本文开展了Fe基高温气体净化膜材料成形和烧结工艺研究，获得了支撑体以及微滤膜层的最佳制备工艺。结果表明：本实验选用的Fe基粉末采用气氛烧 m’／m2 结的最佳烧结温度为1280℃，在该温度下所获样品的耐压强度为113．82MPa，相对透气系数223．84 ·KPa·h，通过粉末湿法喷涂技术制备了金属微滤膜层，获得的Fe金属微滤膜元件对于1p．m的气体粉尘过滤效率可达98％以上，完全满足了多晶硅等行业生产中高温含尘气体净化分离的需求。关键词：高温含尘气体分离Fe基；过滤材料；过滤效率 and researchon Fe Preparationproperty porous basedmembranematerialsfor hightemperature filtrationin gas polysiliconindustry Jinmei，Shi YangKun，TangHuiping，WangJian，YangBaojan，Chen Ying ofPorousMetal InstituteforNon—Ferrous (State Materials，Northwest KeyLaboratory Metal Research，Xi’an710016，China) ordertomeetthe of filtrationin Abstract：In requirementshightemperaturegas polysiliconindustryproduction，porous Febasedmaterialswere coldisostatic the and technicsoffilters preparedby pressing，andoptimumshappingsintering tubeswereobtained．Theresultsshowthatthe is1 280℃withthe of optimumsinteringtemperature crushingstrength 1 13．82 of223．84 themetallicmembraneisfabricated wet MPa，relative m3／m2