LICVD法制备纳米微粉的流体动力学的分析研究.pdfVIP

东北大学!主竺查—』堡苎 摘要 ， 本文初步探讨了激光诱导化学气相沉积(简称LICVD)法制备纳 、 ，，‘，‘ 米微粒的基本原理，从宏观工艺参数出发，利用宏观流体力学理论， 运用数值计算的方法，找出宏观参数与微观参数之间的联系，为进一 步研究微观参数与粉体形态之间的必然联系做基础工作。 ＼在LICVD法制备纳米微粒过程中反应物蒸汽分子的历程为：由 喷咀进入反应区吸收能量，由常温状态变为高温状态并发生裂解，产 生中间产物的碎片，这些碎片在分子热运动中重新组合放出反应潜 热，经历成核与长大两个过程，最终形成稳定状态的纳米微粒。) 以宏观流体动力学理论为工具，对LICVD法制备纳米微粉的合 成室流动状况进行分析、建立模型，用数值计算的办法对该模型进行 了计算，依据是实验时测得的宏观工艺参数，得到了分子量级上的室 体内空间各点的温度、速度分布等过程微观参数及火焰区的尺寸。通 过对调整宏观参数，对制粉过程中的合成室室体进行