罗茨泵研究报告.docVIP

`气冷式罗茨真空泵气动特性的研究 摘要：气冷式罗茨真空泵结构简单、工作可靠，应用广泛。由于气冷式罗茨真空泵在高压差下运行，造成气流周期性脉动而带来较大的噪声。因此，对气冷式罗茨真空泵的降噪的问题是该领域长期以来的研究热点，有必要对我国现有的气冷式罗茨真空泵进行改进设计，以达到降低噪声的效果。气冷式罗茨真空泵的结构特点难以通过实验工具对其内部实际流动进行测量，采用CFD对真空泵内部实际流动进行数值模拟并分析其流动信息是一种有效的研究手段。应用FLUENT对气冷式罗茨真空泵进行内部流动的数值模拟，得到不同工况下气冷式罗茨真空泵内部的速度分布和压力分布，探索气冷式罗茨真空泵的内部流动规律，确定泵的气动噪声产生的主要部位，为设计低噪声的气冷式罗茨真空泵提供参考。 关键词：气冷式罗茨真空泵，噪声，动网格，数值模拟 本课题为与台州市星光真空设备制造有限公司公司是浙江省真空学会理事单位、省科技型企业、浙江省高新技术企业气冷罗茨泵,转子头部使进气口与排气口、返冷气口隔离, 气体被吸入。当左转子逆时针旋转一定角度后，工作腔被封闭（与进气口、返冷气口和排气口均隔离）。转子继续旋转，工作腔与返冷气口相通，冷气流入工作腔中，使腔内压力达到返冷气口的压力。接着与工作腔相通，并进行排气。当转子封闭进气口后泵腔先接通返冷气口, 待返入的冷气在进排气口压差的作用下自动充满泵腔后(泵腔内压力由P 进升至P 排) 再接通排气口, 冷气由安装于排气口下方的换热器提供。这一设计使压缩所产生的热量被冷气所平衡, 而不会导致泵过热过载, 从而使罗茨真空泵允许在高压差(8.7×104 Pa)下运行, 可以直排大气。气冷式罗茨真空泵既可以作为单泵使用, 也可以与其他泵组成机组。在粗抽阶段由气冷式罗茨真空泵直接向大气排气, 这一特性使气冷式罗茨真空泵机组的抽气速率从大气压开始即取决于气冷式罗茨真空泵, 而不受前级机械泵或水环泵的抽气速率限制。这对于大负载抽气以及需要缩短抽气时间以提高工作效率具有特殊意义。近年来, 由于气冷式罗茨真空泵技术已日趋成熟, 因而在大型空间模拟装置、汽轮机动平衡装置以及化工等领域得到广泛应用。 图1 图气冷式罗茨真空泵的噪声源主要有机械噪声及气动噪声两部分组成。机械噪声主要是由于齿轮噪声、轴承噪声、管路振动以及风扇噪声等引起的。气动噪声属于周期性进、排气噪声。在气冷式罗茨真空泵的运转过程中，两叶轮相对旋转，周期性地定容挤压空气，产生周期性进、排气噪声；同时，叶轮旋转时，表面形成涡流，这些涡流在叶轮表面分裂时产生涡流噪声；此外，高压气体通过间隙向低压区泄漏以及气体通过孔口、弯道时也会产生涡流噪声。由高速旋转的转子对周围空气介质的搅动引起的旋转噪声，其频率与周期性进排气噪声相同，噪声强度较小。当高压气体通过间隙向低压区泄漏时、以及气Rm/R的关系表及参数选择范围。另外还采用数学分析方法推导出了加工罗茨真空泵四叶圆弧扭叶转子的指状铣刀的接触方程及其求解式。侯东海等介绍了一种工作齿廓含直线段的三叶罗茨真空泵转子的复合型型线，由圆弧、直线及其共扼线组成，根据啮合基本原理对该复合型线中各个组成区段进行了啮合分析，建立了直线一共扼线的啮合方程，对转子的啮合连续性问题和多点啮合现象进行了探讨，该型线综合曲率半径较大，转子与机壳内孔表面形成的密封圆弧带以及两转子的多点啮合都使转子的密封性能得到提高。曹羽对气冷式罗茨真空泵进行了设计，给出了两叶气冷式罗茨真空泵的实际转子型线的解析方程，分析了容积效率的影响因素，并进行了热平衡分析。赵永东提出液体用的扭叶式三叶泵罗茨真空泵结构设计方案，探讨转子的加工工艺；并探讨了不同粘度和剪切敏感介质在稳定流动的条件下保证过泵介质质量不变性，对转子进行参数化设计。刘坤等提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布。张宝夫设计了大型罗茨真空泵高零流量压缩比转子型线的设计方法及其提高泵最大允许压差的几个要点。W.Armbrustor 对罗茨真空泵最大压缩比和排气效率进行了研究。M.H.Ablanian对干式真空泵进行设计并对其特性进行研究。蔡海毅分析了罗茨风机噪声产生机理，提出了一些降噪措施。许涛，罗根松等人对直排大气罗茨真空泵独特的排气噪声机理——“声波堆集”进行初步探讨,提出新的消声理论——“缝隙消声”。根据该理论，他们所设计的缝隙式复合声器有较好的消声效果。陈晓东, 陈心昭等人以ZJ150A 罗茨真空泵为研究对象, 综合采用多种信号测试和分析处理方法, 分析罗茨真空泵振动噪声产生的机理, 查明了泵体振动噪声在各优势频率处产生的原因、振动的主要激励源及其传递路径, 为罗茨真空泵的低噪声设计提供了依据。以上研究虽然涉及到气冷式罗茨真空泵的型线的研究和噪声产