特气系统工地进程技术规范.docVIP

特气系统工程技术规范 1　总??? 则 ?1.0.1 ?为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。1.0.2 ?本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。1.0.3 ?本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。1.0.4 ?特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2　术??? 语 2.0.1 ?特种气体??? specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 ?特种气体系统??? speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 ?特种气体间 ???speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 ?硅烷站 ???silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、