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微系統協會季刊200105p042方得華、翁政義、黃吉川、張自恭★原子力顯微鏡奈米加工技術
成功大學/方得華、翁政義、黃吉川、張自恭
微系統協會季刊200105p042方得華、翁政義、黃吉川、張自恭★原子力顯微鏡奈米加工技術 1
(A) 前言 2
(B) 原子力顯微鏡奈米技術原理 2
(1) 原理 2
(2) 原子探針加工分類 2
(3) 特性 2
[圖1]原子力顯微鏡原理示意目 3
(C) 分子動力學理論 3
(1) 原理 3
(2) 計算技巧 3
[目2]奈米加工的分子動力學模型 3
[目3]Cu與c各分子間的Morse勢能函數 3
[表1]各項Morse勢能的參數值 4
(D) 分子動力
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