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微系统协会季刊200105p042方得华翁政义黄吉川张自恭原子力.doc

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微系統協會季刊200105p042方得華、翁政義、黃吉川、張自恭★原子力顯微鏡奈米加工技術 成功大學/方得華、翁政義、黃吉川、張自恭 微系統協會季刊200105p042方得華、翁政義、黃吉川、張自恭★原子力顯微鏡奈米加工技術 1 (A) 前言 2 (B) 原子力顯微鏡奈米技術原理 2 (1) 原理 2 (2) 原子探針加工分類 2 (3) 特性 2 [圖1]原子力顯微鏡原理示意目 3 (C) 分子動力學理論 3 (1) 原理 3 (2) 計算技巧 3 [目2]奈米加工的分子動力學模型 3 [目3]Cu與c各分子間的Morse勢能函數 3 [表1]各項Morse勢能的參數值 4 (D) 分子動力

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