MEMS电场传感器的设计及工艺的分析研究.pdf

摘 要 本课题基于微机械加工技术、利用电荷感应原理，针对空间低频及静电场的 检测进行了器件的方案设计和加工工艺研究。按照不同的技术路线和电荷感应方 式，提出三类MEMS电场传感器，分别是体加工平行振动式、表面加工平行振 动式和体加工垂直振动式电场传感器。 本文采用基于有限元方法的计算机模拟技术对电荷感应进行电学仿真，结合 对振动单元的动力学分析，计算出了感应电流有效值，从而验证了设计方案的可 行性。加工上则主要采用两条路线，一是按照标准工艺流程对外流片加工。二是 基于体如工工艺流程在本实验室加工。其中表恧加工平行振动式电场传感器采用 对外流片的方式，分别利用单晶硅、二氧化硅作为结构层和牺牲层，最后再对加 工好的器件进行结构层释放。基于体mI的电场传感器则在本实验室加工，硕士 期『日J完成了平行振动式电场传感器的设计和雏形样机制作。其中包括利用金属薄 膜作为屏蔽电极，在硅片背面溅射金属薄膜、正面掏空屏蔽区域的电极制备方法 具有成品率高、加工简单的优势。同时设计并制备出差分输出感应电极用以抵消 共模干扰。最后针对关键工艺进行研究，如KOH溶液的各向异性腐蚀技术和阳 极键和工艺研究等。 关键词： 微机电系统深刻蚀阳极键和体加工表面加工 andFabricationResearchof Design Electric MEMS．BasedFieldsenso／'s Kai(Physical Deng Electronics) DirectedProf．Xia by Shanhong Abstract Three ofMEMS·basedElectricField electron- types induction are inthis ale principleproposed thesis，which driven driven laterally laterallyMEFS(BLM)，surfaee-micromaehiningMEFS(SLM)， and driven bulk·micromachiningtransverselyMEFS(BTM)respectively． to FiniteElementMethod—basedisusedsimulatethe analysis inductingcharge underthe electricfield．Aftertheinductionsimulationand the specific analyzing characteristicsofthe the andthe dynamic MEFS，we output predict signal frequency the ofthe meansofthe range，whichprovesfeasibilityparametersdesign．Two