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光电测试技术-第5章_激光干涉测试技术(3/6)
光电测试技术
第5章 激光干涉测试技术
哈尔滨工业大学
§5-3 波面剪切干涉测试技术
第5 章 激光干涉测试技术
5-3
§ 波面剪切干涉测试技术
波面剪切干涉是利用待测波面自身的干涉。
剪切干涉仪属于等程(共程)干涉:
对光源无特殊要求,容易得到对比度高的剪切干涉图;
剪切干涉仪无需参考光束,干涉条纹稳定;
对环境要求低;
大部分剪切干涉仪不受口径的限制,从原理讲可以检验任意尺
寸的镜面或系统,加上一定的辅助元件可使检验范围十分广泛;
剪切干涉仪结构简单加工、制造容易、成本低廉、携带方便。
理论上剪切干涉测试技术可以从单幅干涉图中得到光波面的相
关信息。
2015-11-04 3
第5 章 激光干涉测试技术
5-3
§ 波面剪切干涉测试技术
剪切干涉技术在光学零件面形检测、光学系统像差测量、
激光输出波前实时测试、液晶电视的位相调制特性研究、
气体和液体中的流动、扩散等现象研究等领域获得了广
泛的应用。
剪切干涉是一种共光路干涉技术,不用标准参考光束,
而参与干涉的光束均来自被测光束,因而其干涉条纹与
被测波面的关系比较复杂,求解被测波面在数学处理上
比较繁琐,发展利用计算机处理剪切干涉图技术成为剪
切干涉测试技术发展的热点。
2015-11-04 4
第5 章 激光干涉测试技术
5-3
§ 波面剪切干涉测试技术
3.1 波面剪切干涉技术基本原理
所谓波面剪切干涉技术,就是通过某种装置将一个空间
波面分裂为两个完全相同或相似的波面,两者彼此间产
生一个小的空间位移,因为波面上各点是相干的,则在
两个波面的重叠区形成一组干涉条纹,通过分析和处理
干涉图样,可以获得原始波面的信息。
1. 波面剪切的方式
2015-11-04 5
第5 章 激光干涉测试技术
5-3
§ 波面剪切干涉测试技术
3.1 波面剪切干涉技术基本原理 W (x, y)
2. 波面剪切干涉原理
当波面在x 方向上有剪切时,因此原 P(x,y)
始波面与剪切波面在P点的光程差为 s
x
W (x, y) W (x, y) W (x s, y) N
在剪切量s比较小,且剪切方向与x轴 横向剪切干涉示意图
一致的情况下,近似地有
W( x, y)
W( x, y) s N
x
剪切干涉条纹对应的是被测波面的斜率,因此,
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