真空泵开机程序.pdf

Alcatel 2 3 系列真空泵开机程序Alcatel 2 3 系列真空泵开机程序 Alcatel 2 3 Alcatel 2 3 系列真空泵开机程序系列真空泵开机程序 Wangbiao 2010-8-5 多级罗茨的工作原理多级罗茨的工作原理 多级罗茨的工作原理多级罗茨的工作原理 › 通过以下方式将潜在沉积物最小化通过以下方式将潜在沉积物最小化 通过以下方式将潜在沉积物最小化通过以下方式将潜在沉积物最小化 1. 通过减小气体经过的中间 腔的容积 ； 2. 通过在泵的每一级进行N2 吹扫从而稀释工艺气体 （P 和H 型）； 3. 通过调节真空泵的温 度使其符合各个工艺 ， 从而限制气体在泵内的 冷凝 （P 和H 型） Presentation Title — 2 All rights reserved © 2007, Alcatel·Lucent 干泵的温度控制原理干泵的温度控制原理 干泵的温度控制原理干泵的温度控制原理 Presentation Title — 3 All rights reserved © 2007, Alcatel·Lucent 干泵的氮气吹扫原理干泵的氮气吹扫原理 干泵的氮气吹扫原理干泵的氮气吹扫原理 Presentation Title — 4 All rights reserved © 2007, Alcatel·Lucent 使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项 使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项 › 当真空泵上方的主开关设置为当真空泵上方的主开关设置为“0“0””时时，，电源接口和主开关电源接口和主开关 当真空泵上方的主开关设置为当真空泵上方的主开关设置为““00””时时 ，，电源接口和主开关电源接口和主开关 之间依然是带电的之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。如果接触的话会有触电的危险。在服。在服 之间依然是带电的之间依然是带电的。。如果接触的话会有触电的危险如果接触的话会有触电的危险。。在服在服 务之前确保将主电源线断开务之前确保将主电源线断开。。 务之前确保将主电源线断开务之前确保将主电源线断开。。 › 针对针对P 和P 和H H 型泵型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害。如果没有氮气流量将会造成严重危害 ，， 针对针对P P 和和H H 型泵型泵。。如果没有氮气流量将会造成严重危害如果没有氮气流量将会造成严重危害 ，， 因此氮气流量需要由工艺设备进行监控因此氮气流量需要由工艺设备进行监控 ，没有氮气流量时，没有氮气流量时 因此氮气流量需要由工艺设备进行监控因此氮气流量需要由工艺设备进行监控 ，，没有氮气流量时没有氮气流量时 需要有信号提供给工艺设备需要有信号提供给工艺设备 ，如