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2017-09-23 发布于湖北
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薄化工艺介绍及不良案例分析

玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析资询师：董余(Jason.D) 邮箱地址：fishqs@163.com 联系电话：188 9876 0045 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 1 / 内容 1.化学薄化设备介绍 2.化学薄化工艺介绍 3.主要不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 2 / 一、化学薄化设备介绍设备组成： Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元 Unloader单元洗气装置供酸装置温度控制器 HF酸浓度计玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 3 / 化学薄化设备实图玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 4 / 二、化学薄化工艺介绍 1.反应时间与玻璃质量损失的关系（注：图表中所研究玻璃为石英玻璃）图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 5 / 2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 6 / 3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 7 / 25℃时不同浓度HF酸中各组分的浓度(mol/l) Composition [HF]t H+ HF2- (HF)2 F- HF 1.4 0.0282 0.0181 0.4686 0.0101 0.4166 2.79 0.0396 0.0289 1.0491 0.0108 0.6233 5.58 0.0558 0.0446 2.2803 0.0113 0.919 8.4 0.0684 0.0569 3.5