硅单晶型号及电阻率测试作业规范.docVIP

作 业 目 的 测量硅片电阻率及型号 装 置机器 名 称 规 格 配置场所 制造厂商 四探针电阻率测量仪 P-N导电类型鉴别仪 SDY-4 DLY-2 测试间 原 材料、副资材 名 称 料 号 名 称 料 号 四探针探头 概 略 工 程 开机→预热→校正→测试 异 常 处 理 测试员→班长→经理 备 注 作 业 流 程 注 意 事 项 1. 操作步骤 1.1 型号测试 1.1.1准备 接上电源，开启型号测试仪，预热30分钟。 1.1.2校正 在进行样品测试前，先进行标样校正。 1.1.2.1将标样放于测试台上，两探针紧压标样表面，此时型号指示灯亮，如P型灯亮则标样为P型，N型灯亮则标样为N型，然后在校正记录本上作好记录。 1.1.2.2如果此时两个型号的灯都没亮，说明探针与样片表面接触不好，可以拿探针在样片表面轻轻摩擦，使其接触良好。如果还是没有任何反应，应立即报告组长。 1.1.3测试 在1.1.2.1～1.1.2.2的过程中正确无误后，进行样品测试。即重复12.1.2.1，然后在记录单上作好记录。作多个样品测试时，只需重复 1.1.3。 1.2 电阻率测试 1.2.1校正 1.2.1.1连接四探针探头与SDY-4主机，接上电源。 1.2.1.2开启主机电源开关，此时“R□”“I”指示灯亮预热5分钟。 1.2.1.3估计所测样品电阻率范围，选择电流量程，按下K1-K4中相应的键；(如无法估计样品范围，则可以“0.1mA”量程进行测试，再以该测试值作为估选值进行选择电流量程) 电阻率测量时电流量程推荐表 电阻率(Ω.cm) 电流量程(mA) 0.06 100 0.03~0.6 10 0.3~60 1 30 0.1 1.2.1.4 放置样品，压下探针，使样品接通电流。主机此时显示电流数值。调节电位器W1和W2，即可得到所需的测试电流值。 1.2.1.5 测试薄圆片电阻率(厚度≤4mm) 按以下公式 ρ=V/I×F(D/S)×F(W/S)×W×Fsp (Ω.cm) 选取测试电流I: I= F(D/S)×F(W/S)×W×Fsp 然后计算出测试电流:I=0.ABCD 再仪器上调整W1和W2,使测试电流显示值为“□ABCD”。当选取不同的电流量程时，测试电流显示值与实际电流值的关系 电流显示值 电流量程mA 实际电流值mA □ABCD 100 AB.CD □ABCD 10 A.BCD □ABCD 1 0.ABCD □ABCD 0.1 0.0ABCD 1.2.1.6按以上的方法调整电流后，按K6键选择R□/ρ，按K5键选择ρ，仪器则直接显示测量结果Ω.cm 1.2.2.7测试完毕后，拿掉标样样片。 1.2.2.8根据公式：(＝ ρ－ρ标 ×100％ ρ标 计算相对偏差。式中ρ为连续测量标样五遍的电阻率平均值，ρ标为样片标定值，(为相对偏差。如果((5％时应报告班长，否则结果填写在四探针电阻率校正记录本中。 2. 测量 2.1 将校正时的标样样片调换成测试样片，重复1.2.2.1～1.2.2.7。 2.2 完成一根单晶填写[硅晶棒制造命令单]。 2.3 样品的测试工作完成后，取走样片，关掉电源开关。 3. 记录与表格 3.1 记录一：四探针及型号测试仪日常校准 记录（SY/QR-PB-016） 4、附录 4.1 附录一：SDY-4型四探针测试仪前、后面板控制示意图 4.2 附录二：DLY-2 P-N导电类型鉴别仪前、后面板控制示意图 4.3 附录三：附录三：直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系 4.7 附录四：厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系 整流法测试：应按下“整流法”选择键R.M,这时对应的LED发亮。调节调零电位器，使“P”“N”显示器熄灭，调零指示表指针指示在中间，然后进行测试。测试时须将三探针轻压在样片被测表面上，然后从主机显示测试结果(在测量过程中，应保证三探针都与被测面接触，否则可能产生误判断) 温差法测试：应按下“热电动势法”选择键T.E.M，这时对应的LED发亮，同时HEATING指示灯发亮，表示热笔正被加热。当HEATING熄灭而HEAT CON.发亮时，表示热比正被恒温。然后调节调零电位器，使“P”“N”显示器熄灭，调零指示表指针指示在中间，然后进行测试。测试时将冷热笔紧紧压在被测面上。然后从主机直接显示测试结果。 测量过程中应注意零点的调整，否则会带来误判。 从事本规范的操作人员必须经为期四周严格的安全教育和操作培训，并经工程技术人员考核合格。 由具有一定操作经验的人员带