光电仪器系统复习 2013.docVIP

复 习 2013 一章．绪论 1．光电系统，光电检测系统的特点、实例（光盘机、光刻机等） 2．技术指标 测量范围，示值范围，放大倍数 3．基本组成（8个部分） 二章 光电检测的基本原则（9个基本原则） 重点：阿贝原则 (要串联, 不要并联)及计算 艾宾斯坦原理 三章 光电检测仪器的精度理论 1．误差分类 按数学特征分: 系统误差、偶然误差(随机) 四章 光电瞄准（横向瞄准） 1．瞄准误差 2．分类 3. 光学瞄准法 对线法（角误差α）、重合法（对径读数）、双象法、互补色法、反射法。 4．激光扫描式光电自动对准（光刻机） 对准判据、光学系统、光电探测特点。 5．光盘循迹伺服 循迹精度、三光束法、光盘光学系统原理。 光电轴向定位（调焦）系统 光切法 2．像散法自动调焦（光盘机） 检测原理、精度、对焦误差信号，（与光盘循迹伺服联系复习） 3.光度法 七章．光电读数及细分 目视光学细分（原理、读数） 带尺读数装置（直接细分法）、丝杆式目镜测微器、平板摆动测微器、透镜测微器 2．光栅的光电读数 莫尔条纹原理、四相信号产生及测量方向的判别、波形图、逻辑表达式 光栅的电子细分直接的细分法移相电阻链法波形图CCD的七个应用领域 CCD用于尺寸测量（微小尺寸的检测 、小尺寸的检测、大尺寸检测） CCD用于光谱测量（光栅式、棱镜式） 十一章 激光干涉、衍射测量系统 一. 干涉基本原理 1. 原理 1）计量厚度或位移的变化,干涉条纹是以λ/2为单位的: Δh =(/(2n); 2）条纹的形状随两出瞳位置的变化关系——用于测面形及测长 2. 干涉的两个问题： 1)对比度——与光源大小、单色性、两路光强比的联系。 2）扩展光源，有定域面 3. 等厚干涉条纹间隔e=(/(2n() 二．激光波面干涉仪 1.分类 2.瞳窗理论——瞳窗位置，出瞳的相对位置与条纹的形状的关系 3.乌式干涉仪——出瞳的相对位置如何调整，条纹的形状如何变化 三、激光平面干涉仪 1.测量原理 2.面形误差表示 四、激光球面干涉仪 1. 瞳窗，条纹的形状 2. 球面度及球面半径测量原理 五、激光干涉测长仪 1.测长方程 2.系统原理 3.信号处理（读数及细分） 十二章 光谱检测原理及应用 棱镜式光谱仪 偏向角、角色散率分辨率单色仪系统光栅式光谱仪角色散率分辨率单色仪系统线色散率光栅的转动机构光谱仪器家族 光电直读光谱仪单色仪分光光度计看谱仪摄谱仪傅里叶变换光谱仪 一．扫描隧道显微镜(STM) 2种测量方式；应用 二．原子力显微镜(AFM) 3种测量方式；应用 SEM SEM原理；几种电子对应测量内容；放大率。 3