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温度对复制光栅衍射波前的影响
( 北京北分瑞利分析仪器( 集团) 有限责任公司 北京 100015)
本文针对复制光栅过程中, 温度不稳定造成复制品衍射波前失真的问
题进行了 析,并通过反复实验确定了复制光栅最佳稳定时间, 从而提高复制光栅的
一次成品率、母板利用率和使用寿命。
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