空心阴极放电的电场分布与计算.docVIP

目录 中文摘要、关键词………………………………………… （） 1、绪论………………………………………………………（） 1.1应用前景…………………………………………………（） 1.2本课题研究的目的、意义和主要研究内容………… （） 2、空心阴极放电原理及一般特性………………………（） 2.1模型描述……………………………………………… （） 2.2快电子模型………………………………………………（） 2.3模拟方法…………………………………………………（） 2.4算法………………………………………………………（） 3、电场的分布及计算………………………………………（） 3.1电场的分布………………………………………………（） 3.2电场的计算………………………………………………（） 3.3讨论………………………………………………………（） 4、结论………………………………………………………（） 参考文献…………………………………………………… （） 英文摘要、关键词………………………………………… （） 附录………………………………………………………… （） 空心阴极放电的电场分布与计算 摘要: 运用粒子和流体组合模型理论研究了空心阴极放电中阴极面上二次电子发射对阴极面上的电场、离子流和离子密度沿阴极截面的空间分布的影响.得到放电稳定状态时的电场径向分布和带电粒子的密度分布。利用模拟结果研究了基板偏压为-250 V和-400 V放电条件下的空心阴极放电特性。结果表明, 从阴极面发射的电子在进入负辉区后,可以形成振荡电子,因而具有增强电离的作用。放电中存在空心阴极效应,放电时的等离子体区在阴极管的中心轴附近,且改变基板偏压对电子密度、粒子密度的空间分布有所影响,随着基板负偏压增加更有利于沉积均匀致密的薄膜。 关键词: 空心阴极放电,粒子模拟,流体组合模型 1绪论 空心阴极放电(HCD)是一种特殊形式的辉光放电,其负辉区(NG)和阴极位降区(CDS)被阴极表面包围在管的内部。由于这种特殊的阴极几何结构,使得负辉区内产生的所有离子几乎都能轰击阴极表面,从而对二次电子发射及阴极溅射产生作用。而电子在管内阴极表面之间来回摆动,提高了负辉区和阴极暗区内的电离、激发等碰撞过程的几率,使得电流密度和光强度大大增加。由于它的这些特点使其在光谱分析、真空镀膜、表面处理和气体激光器等领域得到广泛的应用,特别是近几年来在GaN、β-C3N420年中,大量的一维和二维模拟方法应用于直流和射频放电领域。而流体模拟、粒子模拟和混合模拟技术则是低温等离子体放电模拟中最常用的模拟技术。在空心阴极放电领域,赖建军等应用自恰模型(Monte Carlo模型和流体模型的混合体),通过将快电子和慢电子与离子进行分别处理,得到了Ar气在槽型空心阴极放电中的二维模型;Donko Z.也使用了类似的方法,但是他们没有给出电子平均速度的空间分布。姚细林和周俐娜等分别用MonteCarlo模型和流体模型模拟了亚毫米量级的微空心阴极放电,属于高气压下的空心阴极放电。本文针对空心阴极放电碳氮薄膜沉积系统,通过XOOPIC粒子模拟软件对Ar气在碳管空心阴极中的低气压放电作二维模拟,并对空心阴极放电的基本特征作一些理论探讨。 1.1应用前景 MHCD在平板准分子光源（UV和VUV波段）和等离子体显示领域可望大有用武之地，这也是目前研究的较多的一个应用方向。与介质阻挡放电相比，它具有如下几点诱人的优势：(1)电极结构简单紧凑。(2)若采取脉冲激励方式，峰值电压只需要几百伏，而介质阻挡放电需要一千伏以上，相应的半导体开关元件比介质阻挡放电激励要便宜。(3)采取脉冲激励方式时可获得高的电光转换效率。(4)可采取串联阵列方式提高辐射出射度。形成完善的加工工艺，提高工作寿命将是今后的主要目标。微空心阴极放电自持（MHS）的辉光放电，能解决高气压下辉光放电向弧光放电转换的问题，产生大体积辉光等离子体，广泛应用在电磁波吸收，表面处理，薄膜沉积，气体污染净化，气体激光器等方面。由于MHCD特殊的空心阴极效应，能产生大量的高能电子，因此有望在此基础上作出电源要求度低、构造简单紧凑的Ar、Xe等惰性气体激光器。 1.2本课题（不恰当）研究的目的、意义和主要研究内容 本课题的研究的目的，旨在对不同结构的微空心阴极放电的理论上作出探索性的研究。 在理论上，利用流体模型方法对直流激励下的不同结构微空心阴极放电进行了二维数值模拟，建立了Boltzmann方程和Possion方程的差分格式，利用matlab软件采用求解Boltzmann方程和Possion方程的联立方程组。利用这种方法可以解出稳定放电时的电子离子浓度、电子能量、电场分布等参数，分析了微空心阴极放电的基本特性，并模拟了压强、放电结构、放电结